一种区熔炉的内轴运动装置及主轴运动装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及区熔炉技术领域，特别涉及一种区熔炉的内轴运动装置及主轴运动装置，用于提高内轴的运动精度，从而提高区熔炉引晶的成功率。本实用新型专利技术公开了一种区熔炉的内轴运动装置，包括：内轴；位于区熔炉内的下滑座上，用于驱动内轴升降运动的伺服缸组件；两端分别与内轴和伺服缸组件的伸缩杆固定连接的内轴连接杆组件。在本实用新型专利技术中，利用伺服缸组件精确控制内轴的升降运动，提高内轴的运动精度，进而提高区熔炉引晶的成功率。本实用新型专利技术同时还公开了一种区熔炉的主轴运动装置，包括具有上述技术特征的内轴运动装置。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种区熔炉的内轴运动装置，其特征在于，包括：内轴；位于区熔炉内的下滑座上，用于驱动所述内轴升降运动的伺服缸组件；两端分别与所述内轴和所述伺服缸组件的伸缩杆固定连接的内轴连接杆组件。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：周鹏，包娜娜，张继宏，
申请(专利权)人：北京京运通科技股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：