【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种制造液体排出头的方法，所述液体排出头包括基板，所述基板具有在其第一面上的产生用于排出液体的能量的排出能量产生元件和从与所述第一面相对的第二面侧到达所述第一面的独立供给口，所述方法包括：(1)在所述第一面上，在对应于形成所述独立供给口的区域的部分上形成蚀刻停止层的步骤；(2)从所述第二面侧对所述基板进行干法蚀刻处理，直到被蚀刻的部分到达所述蚀刻停止层的步骤；和(3)在进行所述干法蚀刻处理之后，通过各向同性蚀刻去除所述蚀刻停止层以形成所述独立供给口的步骤，其中以在所述蚀刻停止层的侧面周围形成对所述各向同性蚀刻具有耐蚀刻性的侧部蚀刻阻止部的状态进行所述各向同性蚀刻。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：久保田雅彦，柬理亮二，冈野明彦，平本笃司，樱井将贵，福本能之，
申请(专利权)人：佳能株式会社，
类型：发明
国别省市：
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