【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种微透镜阵列模具的制作方法,其特征在于包括如下步骤:步骤一:采用UV?LIGA工艺制成表面具有柱状微细孔阵列结构的金属镍模具;一.SU8胶微细柱阵列的制作:首先在硅基板上涂布SU8胶,然后利用光刻技术制作SU8胶微细柱阵列;二.SU8胶微细柱的表面金属化处理:在SU8胶微细柱表面及硅基板上表面进行金属化处理,制作一层电铸种子层;三、利用微电铸工艺在电铸种子层表面电铸镍材料,形成金属镍模具;四、SU8胶微细柱的脱除:先将硅基板从镍模具上剥离,然后通过SU8胶专用去胶剂去除SU8胶微细柱,从而在镍模具上形成柱状微细孔阵列,最终制成所述的具有柱状微细孔阵列的镍模具;步骤二:在真空环境下将UV固化胶涂覆于镍模具的柱状微细孔阵列之内;步骤三:旋转步骤三所得产品,使一部分UV固化胶均匀地旋转出微细孔之外,形成稳定的凹面形状,之后利用紫外光源固化UV固化胶,即可获取所述的微透镜阵列模具。
【技术特征摘要】
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