一种调整硝酸滴加浓度的多晶硅预处理方法技术

本发明专利技术涉及一种多晶硅杂质检测的预处理方法，具体涉及一种调整硝酸滴加浓度的多晶硅预处理方法。其步骤如下：（1）称取多晶硅样品0.1-0.5g于PTFE烧杯中；（2）将1%甘露醇溶液0.3-1ml加入PTFE烧杯使多晶硅样品浸润；（3）将质量分数为49%的氢氟酸3-5ml加入PTFE烧杯中；（4）加入0.5-1.0ml质量分数为35%的硝酸，再加入1.0-2.0ml质量分数为70%的硝酸，反应至多晶硅样品完全消溶；（5）控制温度使硅挥发，定容后调节酸度，检测杂质含量，操作结束。本发明专利技术的优点在于：可以使多晶硅中硼元素及其他金属元素同时被检测，同时硼元素保留作用明显，使其回收率可从80～85%提升至95%以上，方法简单易于操作，缩短了溶液蒸干的时间，提高了多晶硅预处理效率。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种调整硝酸滴加浓度的多晶硅预处理方法，其特征在于，步骤如下：（1）称取多晶硅样品0.1?0.5g于PTFE烧杯中；（2）将1%甘露醇溶液0.3?1.0ml加入PTFE烧杯使多晶硅样品浸润；（3）将质量分数为49%的氢氟酸3.0?5.0ml加入PTFE烧杯中；（4）加入0.5?1.0ml质量分数为35%的硝酸，再加入1.0?2.0ml质量分数为70%的硝酸，反应至多晶硅样品完全消溶；（5）控制温度使硅挥发，定容后调节酸度，检测杂质含量，操作结束。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：谭毅，刘瑶，刘鑫业，
申请(专利权)人：青岛隆盛晶硅科技有限公司，
类型：发明
国别省市：