用于IR晶圆处理设备传送带之指传动装置以及横向级差温度轮廓方法制造方法及图纸

技术编号：9147208 阅读：169 留言：0更新日期：2013-09-12 08:26

本发明专利技术揭露一种新等级工作件传送带，包含零质量、少阴影运输系统，其系拥有具有定义处理路径之一对平行、横向间隔、可移动链的传动，其系具有指朝处理路径中央线横切突出。在指之间的间隙排除传送带管/杆支撑物，以改善晶圆品质并且保留能量。实施包括指所固定到的布线链、带与滚筒链运输。指会被向下定角，以致于工作件之底部与侧边缘的交叉点仅仅与每一指进行点接触。一对指链实施单一通道传动；将相对指向指添加到中央双横向指传动链会实施多通道系统。本发明专利技术方法包括在肩并肩通道中之可各别架构的处理温度轮廓，其系以区域接着区域、上与下半为基础，以用于宽广的处理弹性。以新转换器为主的灯-电压控制系统可提供稳定的灯功率以用于精确的温度控制。