【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
等离子体电源手动切换装置，其特征在于各等离子靶极共享一具直流电源供应器，导线分别由等离子体电源手动切换装置接入。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：周文彬，刘幼海，刘吉人，
申请(专利权)人：吉富新能源科技上海有限公司，
类型：发明
国别省市：
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