水反应性Al复合材料、水反应性Al喷镀膜、该Al喷镀膜的制造方法及成膜室用构成构件技术

本发明专利技术提供一种水反应性Al复合材料，在Al中，以Al基准计，添加2.0～3.5wt％的In、0.2～0.5wt％的Si、0.13～0.25wt％的Ti而成，其在水分存在下的气氛中进行反应溶解而得到。使用该材料制造的水反应性Al喷镀膜及该Al喷镀膜的制造方法以及在表面具备该Al喷镀膜的成膜室用构成构件。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及水反应性Al复合材料、水反应性Al喷镀膜、该Al喷镀膜的制造方法及成膜室用构成构件，特别是涉及在Al中添加In、Si及Ti 了的水反应性Al复合材料、由该水反应性Al复合材料构成的水反应性Al喷镀膜、该Al喷镀膜的制造方法及用该Al喷镀膜覆盖了的成膜室用构成构件。
技术介绍
在用于通过溅射法、真空蒸镀法、离子镀敷法、CVD法等形成薄膜的成膜装置中，在该装置内设置的成膜室用构成构件上，不可避免地附着成膜工艺中由成膜材料构成的金属或金属化合物的膜。作为该成膜室用构成构件，例如可以举出用于防止膜在基板以外的真空容器内部附着膜的防粘板、开闭器、为了仅在基板的规定部位进行成膜而使用的掩模、基板运送用托架等。在成膜工艺中，这些构件上也附着与作为目标的薄膜(在基板上应该形成的薄膜)相同组成的膜。这些构件，通常附着膜的除膜后可反复使用。这些成膜室用构成构件上不可避免地附着的膜，随着成膜工艺的作业时间而变厚。这样的附着膜，由于其内部应力、由反复的热过程引起的应力，从成膜室用构成构件形成颗粒而剥离，附着在基板上，成为膜缺陷的产生原因。因此，对于成膜室用构成构件而言，定期进行以下的循环:在本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：门胁丰，斋藤朋子，虫明克彦，
申请(专利权)人：株式会社爱发科，
类型：
国别省市：