【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及数据信息
,尤其涉及一种基于设备使用率监测系统的设备使用率信息获取方法。
技术介绍
在当今的半导体制造业中,由于对半导体产品的要求越来越高,从而导致了半导体生产中的工艺也越来越复杂,因此,生产一个成品半导体器件就需要经过一个很繁复的工艺步骤。在这些工艺步骤中包含着众多的工艺数据和相关的设备数据,通过生产自动化系统和制造执行系统等可对当前的设备记录每一个细微的动作数据,如记录每批货的载入时间、机器设置时间、测试程序载入时间、生产开始时间和生产完成时间等等,甚至记录每颗IC的测试时间和分级时间等。虽然记录的上述数据对于整个生产过程来说非常全面,但随之带来的过大的信息量会加大信息处理的难度。且随着运行时间的增加,系统中所包含的信息量也会越来越多,使用者获得有效信息的困难度也越来越高。中国专利(公开号:CN1707459A)公开了一种成型机台监控系统及方法,该成型机台监控系统包括有多个成型机台、一应用服务器、多个客户端计算机及一数据库。应用服务器包括多个软件功能模块,用于监控成型机台操作状态,判断及发送异常信息至指定地址,并对操作状态进行分析统计。客 ...
【技术保护点】
一种设备使用率信息获取方法,应用于生产设备的设备使用率监测系统中,所述设备使用率监测系统包括操控端、处理端和信息采集端,其中,所述操控端包括信息输入设备、信息输出设备和信息调用设备,其特征在于,所述设备使用率检测系统中还包括预设数据库和设备使用状态数据库,所述方法包括以下步骤:所述操控端中的所述信息输入设备将设备指示数据和设备数据整合方式数据传送并存储于所述预设数据库中;所述信息采集端获取所述生产设备的实时使用状态数据和历史使用状态数据,并将所述实时使用状态数据和所述历史使用状态数据储存在所述设备使用状态数据库中;所述操控端中的所述调用设备调用存储于所述预设数据库中的所述设 ...
【技术特征摘要】
1.一种设备使用率信息获取方法,应用于生产设备的设备使用率监测系统中,所述设备使用率监测系统包括操控端、处理端和信息采集端,其中,所述操控端包括信息输入设备、信息输出设备和信息调用设备,其特征在于,所述设备使用率检测系统中还包括预设数据库和设备使用状态数据库,所述方法包括以下步骤: 所述操控端中的所述信息输入设备将设备指示数据和设备数据整合方式数据传送并存储于所述预设数据库中; 所述信息采集端获取所述生产设备的实时使用状态数据和历史使用状态数据,并将所述实时使用状态数据和所述历史使用状态数据储存在所述设备使用状态数据库中; 所述操控端中的所述调用设备调用存储于所述预设数据库中的所述设备指示数据,并根据该设备指示数据获取所述设备使用状态数据库中的所述实时使用状态数据和/或所述历史使用状态数据; 所述处理端调用所述设备数据整合方式数据对所述操控端获取的所述实时使用状态数据和/或所述历史使用状态数据进行处理后,生成图表数据,并将该图表数据传送至所述操控端中的所述输出设备进行输出。2.如权利要求1所述的设...
【专利技术属性】
技术研发人员:龚丹莉,徐燕菁,娄晓祺,邵雄,
申请(专利权)人:上海华力微电子有限公司,
类型:发明
国别省市:
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