调焦调平测量系统中镜片轴向调整装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及调焦调平测量系统，具体涉及调焦调平测量系统中镜片轴向调整装置。所述镜片轴向调整装置包括支撑筒、设置在支撑筒端面的光阑、设置在支撑筒内的至少一个镜筒组、设置在支撑筒侧壁控制和锁定镜筒组轴向运动的调整机构和用于径向固定镜筒组的支撑块，所述支撑块设置在支撑筒内，镜筒组嵌在支撑块内并可在其中进行轴向滑动。本实用新型专利技术的技术方案中小镜筒相互独立，可分别进行调整补偿光学系统的装调误差；整个调整装置结构紧凑，可在较小空间内进行调整；调整精度高，重复性好；装置的结构简单、安装方便且成本合理。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及调焦调平测量系统，具体涉及调焦调平测量系统中镜片轴向调整>J-U ρ α装直。
技术介绍
在投影光刻系统中对调焦调平测量系统要求越来越高，在调焦调平测量系统中镜头组发挥着重要作用，控制好镜头组的位置，对成像质量上起着决定性作用。现有技术中实现镜片调整装置主要包括以下方式:方式一，如图1所示，压电元件组成的致动器100驱动柔性四杆机构101，四杆机构101将致动器100水平向的位移dL转换成可动透镜102的轴向位移dH，柔性连杆机构机构复杂，加工制造难度，安装也有较大困难。虽然精度理想但压电元件价格昂贵，成本过高，安装空间大。方式二，如图2所示，采用并列的二个线形滑轨103作导向，伺服电机通过凸轮机构104驱动可动透镜102上下运动·。然而凸轮加工难度大，不能实现自锁，且线形滑轨滑块与导轨之间存在一定的间隙，机构精度不高，安装空间大。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是现有镜片轴向调整装置安装空间过大，结构复杂，为了克服以上不足，提供了一种调焦调平测量系统中镜片轴向调整装置。为了解决上述技术问题，本技术的技术方案是:所述镜片轴向调整装置包括支撑筒、设置在支撑筒端面的光阑、设置在支撑筒内的至少一个镜筒组、设置在支撑筒侧壁控制和锁定镜筒组轴向运动的调整机构和用于径向固定镜筒组的支撑块，所述支撑块设置在支撑筒内，镜筒组嵌在支撑块内并可在其中进行轴向滑动。进一步，所述支撑块为圆柱型，其包括柱体和沿柱体圆周分布上下贯通的轴向滑道，所述轴向滑道与调整机构和镜筒组在支撑筒内的部分相配合，控制镜筒组沿轴向滑动。进一步，支撑块还包括用于连接光阑的上销孔和用于连接支撑筒的下销孔。进一步，所述镜筒组包括沿轴向上下对应设置的至少一个小镜筒，一个小镜筒通过一个独立的调整机构控制。因此，镜筒组中的每个小镜筒相互独立，可以分别对其进行轴向调节，调节的范围更大且更加灵活。进一步，小镜筒包括圆柱型镜座、镜片和压圈，所述镜座中间开有通光孔并带有台阶，镜片放在台阶上，压圈压在镜片上。进一步，所述调整机构包括沿轴向从上到下固定在支撑筒外侧壁的上固定块和下固定块、连接上固定块和下固定块之间的导向柱、穿过导向柱可在上固定块和下固定块之间移动的活动块、连接上固定块和活动块的弹簧、设置在下固定块上的微分头以及与活动块联动的连接杆，微分头的顶端与活动块接触，连接杆的一端与小镜筒固定连接，另一端从活动块伸出。通过微分头旋入或旋出下固定块，活动块在微分头和弹簧的共同作用力下靠近或远离上固定块，进一步，通过与活动块联动的连接杆带动小镜筒做轴向向上或向下运动。进一步，所述调整机构还包括与连接杆联动的内固定块，所述内固定块设置在支撑筒的内壁且与活动块内外对应，用于辅助活动块和连接杆带动小镜筒做轴向运动。进一步，所述轴向滑道包括与内固定块相配合的方槽、与连接杆相配合的薄层槽和与镜筒组相配合的通孔。进一步，所述调整机构还包括锁紧螺母，所述锁紧螺母与连接杆伸出活动块的一端通过螺纹连接，松开锁紧螺母连接，活动块可在上固定块与下固定块之间滑动，旋紧锁紧螺母则对活动块进行轴向固定。本技术的技术方案中小镜筒相互独立，可分别进行调整补偿光学系统的装调误差；整个调整装置结构紧凑，可在较小空间内进行调整；调整精度高，重复性好；装置的结构简单、安装方便且成本合理。附图说明图1是现有技术中方式一的结构示意图；图2是现有技术中方式二的结构示意图；图3是本技术立体结构示意图；图4是本技术仰视图；图5是小镜筒的剖视图；图6是图4的A-A向剖视图；图7是支撑块的立体结构示意图。图中所示:100-制动器，101-四杆机构，102-可动透镜，103-线形滑轨，104-凸轮机构；1-支撑筒；2-光阑；3-镜筒组，31-小镜筒，311-镜座，312-镜片，313-压圈，314-通光孔，315-台阶；4-调整机构，41 -上固定块，42-下固定块，43-导向柱，44-活动块，45-弹簧，46-微分头，47-连接杆，48-内固定块，49-锁紧螺母；5-支撑块，51-柱体，52-轴向滑道，53-上销孔，54-小销孔，55-方槽，56-薄层槽，57-通孔。具体实施方式以下结合附图对本技术作详细描述:如图3和4所示，本技术所述镜片轴向调整装置包括支撑筒1、设置在支撑筒I端面的光阑2、设置在支撑筒I内的5个镜筒组3、设置在支撑筒I的侧壁控制和锁定镜筒组3轴向运动的调整机构4和用于径向固定镜筒组3的支撑块5。所述5个镜筒组3，每个镜筒组3均包括沿轴向上下对应设置的2个小镜筒31，每个小镜筒31通过一个独立的调整机构4控制。如图5所示，小镜筒31包括圆柱型镜座311、镜片312和压圈313，所述镜座311中间开有通光孔314并带有台阶315，镜片312放在台阶315上，压圈313压在镜片312上。如图3和6所示，所述调整机构4包括沿轴向从上到下固定在支撑筒I外侧壁的上固定块41和下固定块42、连接上固定块41和下固定块42之间的导向柱43、穿过导向柱43可在上固定块41和下固定块42之间移动的活动块44、连接上固定块41和活动块44的弹簧45、设置在下固定块42上的微分头46、与活动块44联动的连接杆47、与连接杆47联动的内固定块48和锁紧螺母49。微分头46的顶端与活动块44接触；连接杆47的一端与小镜筒31固定连接，另一端从活动块44穿出；所述锁紧螺母49与连接杆47伸出活动块44的一端通过螺纹连接；内固定块48设置在支撑筒I的内壁且与活动块44内外对应。如图6和7所示，所述支撑块5为圆柱型，其包括柱体51、圆周分布上下贯通的5条轴向滑道52、用于连接光阑2的上销孔53和用于连接支撑筒I的下销孔54，所述轴向滑道52与调整机构4和镜筒组3在支撑筒I内的部分相配合，所述轴向滑道52包括与内固定块41相配合的方槽55、与连接杆47相配合的薄层槽56和与镜筒组3相配合的通孔57。所述调整装置的工作过程如下:各个组件安装完后，旋转微分头46，在微分头46推动下，活动块44沿轴向向上活动块41运动，压缩弹簧45，活动块44带动连接杆47运动，连接杆47带动小镜筒31在轴向滑道52内移动；如果向相反的方向旋转微分头46，在弹簧45的推力下使活动块44向下固定块42靠近，活动块44带动连接杆47运动，连接杆47带动小镜筒31在轴向滑道52内移动。通过每个小镜筒31的调整，最终实现镜筒组3的轴向调整，当调整到位时，拧紧锁紧螺母49。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种镜片轴向调整装置，其特征在于，包括支撑筒、设置在支撑筒端面的光阑、设置在支撑筒内的至少一个镜筒组、设置在支撑筒侧壁控制和锁定镜筒组轴向运动的调整机构和用于径向固定镜筒组的支撑块，所述支撑块设置在支撑筒内，镜筒组嵌在支撑块内并可在其中进行轴向滑动。

【技术特征摘要】
1.一种镜片轴向调整装置，其特征在于，包括支撑筒、设置在支撑筒端面的光阑、设置在支撑筒内的至少一个镜筒组、设置在支撑筒侧壁控制和锁定镜筒组轴向运动的调整机构和用于径向固定镜筒组的支撑块，所述支撑块设置在支撑筒内，镜筒组嵌在支撑块内并可在其中进行轴向滑动。2.根据权利要求1所述一种镜片轴向调整装置，其特征在于，所述支撑块为圆柱型，其包括柱体和沿柱体圆周分布上下贯通的轴向滑道，所述轴向滑道与调整机构和镜筒组在支撑筒内的部分相配合。3.根据权利要求2所述一种镜片轴向调整装置，其特征在于，所述支撑块还包括用于连接光阑的上销孔和用于连接支撑筒的下销孔。4.根据权利要求1所述一种镜片轴向调整装置，其特征在于，所述镜筒组包括沿轴向上下对应设置的至少一个小镜筒，一个小镜筒通过一个独立的调整机构控制。5.根据权利要求4所述一种镜片轴向调整装置，其特征在于，所述小镜筒包括圆柱型镜座、镜片和压圈，所述镜座中间开有通光孔并带有台阶，镜片放在台阶上，压圈压在镜片上。6...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴树福，章富平，陈飞彪，王海江，程海林，唐平玉，
申请(专利权)人：上海微电子装备有限公司，
类型：实用新型
国别省市：