基于MEMS技术的压电-电磁复合式宽频俘能器制造技术

本发明专利技术涉及一种基于MEMS技术的压电-电磁复合式宽频俘能器，属于微机电系统领域。其包括：边框1、2个以上的MEMS压电-电磁复合式俘能单元11、管壳20和盖板2。盖板2盖在管壳20的上面，边框1固定于管壳20的内部，MEMS压电-电磁复合式俘能单元11固定于边框1内。每个MEMS压电-电磁复合式俘能单元11包括：磁铁3、线圈4、质量块5、4根结构梁、第一上电极层7、第二上电极层8、下电极层9、PZT压电材料层10、绝缘层15。本发明专利技术提出的俘能器与已有MEMS振动型俘能器相比较，具有以下优点：①将线圈材料、压电材料的制备与MEMS工艺实现兼容设计，且成本较低。②具有宽频带俘能效果，并同时能输出较大电压和较大电流。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种基于MEMS技术的压电?电磁复合式宽频俘能器，其特征在于：其包括：边框（1）、2个以上的MEMS压电?电磁复合式俘能单元（11）、管壳（20）和盖板（2）；所述盖板（2）盖在管壳（20）的上面，边框（1）固定于管壳（20）的内部，所述2个以上的MEMS压电?电磁复合式俘能单元（11）固定于边框（1）内，并且MEMS压电?电磁复合式俘能单元（11）与管壳（20）的底面不接触；管壳（20）和盖板（2）的作用是封装边框（1）及全部MEMS压电?电磁复合式俘能单元（11），对边框（1）及MEMS压电?电磁复合式俘能单元（11）起保护作用；所述边框（1）为长方形或正方形边框，其作用是：①固定并支撑全部MEMS压电?电磁复合式俘能单元（11）；②布置引线及焊盘；所述焊盘的作用是实现与外接负载的电气连接；所述2个以上的MEMS压电?电磁复合式俘能单元（11）位于同一平面并且等间距排布于边框（1）的内部；所述MEMS压电?电磁复合式俘能单元（11）包括：磁铁（3）、线圈（4）、质量块（5）、第一结构梁（6）、第二结构梁（12）、第三结构梁（13）、第四结构梁（14）、第一上电极层（7）、第二上电极层（8）、下电极层（9）、PZT压电材料层（10）、绝缘层（15）；所述质量块（5）为正方体或长方体；所述第一结构梁（6）、第二结构梁（12）、第三结构梁（13）、第四结构梁（14）以质量块（5）为中心，对称分布在质量块（5）的两侧，质量块（5）每侧的两根结构梁平行排布，并且每根结构梁的一端与边框（1）固定连接，另一端与质量块（5）固定连接；第一结构梁（6）、第二结构梁（12）、第三结构梁（13）、第四结构梁（14）的形状和尺寸相同；质量块（5）的上表面与第一结构梁（6）、第二结构梁（12）、第三结构梁（13）、第四结构梁（14）的上表面位于同一水平面；所述质量块（5）和第一结构梁（6）、第二结构梁（12）、第三结构梁（13）、第四结构梁（14）的作用是：①在确定了质量块（5）以及第一结构梁（6）、第二结构梁（12）、第三结构梁（13）、第四结构梁（14）的形状和尺寸以后，即确定了所述MEMS压电?电磁复合式俘能单元（11）的谐振频率和响应频带；② 质量块（5）支撑线圈（4），当有外界振动信号时，质量块（5）振动带动线圈（4）进行同频率的振动，线圈（4）进行切割磁感线运动；所述第一结构梁（6）、第二结构梁（12）、第三结构梁（13）、第四结构梁（14）和质量块（5）的上表面上有绝缘层（15）；第一结构梁（6）、第二结构梁（12）、第三结构梁（13）和第四结构梁（14）上的绝缘层（15）的上表面有下电极层（9）；下电极层（9）通过引线与边框（1）上焊盘连接；下电极层（9）的上表面上有PZT压电材料层（10）；PZT压电材料层（10）的上表面上有第一上电极层（7）和第二上电极层（8），第一上电极层（7）和第二上电极层（8）之间有一定间隙；所述PZT压电材料层（10）的作用是：当质量块（5）振动时，引起第一结构梁（6）、第二结构梁（12）、第三结构梁（13）、第四结构梁（14）和PZT压电材料层（10）弯曲变形，导致PZT压电材料层（10）中产生应力、应变，进而在PZT压电材料层（10）的上表面和下表面产生电荷；所述线圈（4）固定于质量块（5）上表面的绝缘层（15）上，其作用是当线圈（4）切割磁感线运动时，在线圈（4）中产生感应电动势，输出能量；所述磁铁（3）位于线圈（4）的上方，粘附于盖板（2）的下表面，磁铁（3）和线圈（4）不接触，磁铁（3）的作用是提供磁场；所述第一上电极层（7）和第二上电极层（8）的作用是收集PZT压电材料层（10）上表面产生的电荷；所述下电极层（9）的作用是收集PZT压电材料层（10）下表面产生的电荷；所述MEMS压电?电磁复合式俘能单元（11）的作用是：①当有外界振动作用时，通过质量块（5）产生惯性力作用到第一结构梁（6）、第二结构梁（12）、第三结构梁（13）和第四结构梁（14）上，使第一结构梁（6）、第二结构梁（12）、第三结构梁（13）、第四结构梁（14）及PZT压电材料层（10）发生弯曲变形，根据压电效应，在PZT压电材料层（10）上、下表面产生电荷，实现俘能作用；②在外界振动作用下，质量块（5）发生振动，带到质量块（5）上表面的线圈（4）进行同频率的振动，在磁铁（3）的作用下，根据电磁感应定律，在线圈（4）中产生电动势，实现俘能作用；在制备基于MEMS技术的压电?电磁复合式宽频俘能器的过程中，通过优化确定每个ME...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：高世桥，李平，金磊，刘海鹏，牛少华，姚峰林，
申请(专利权)人：北京理工大学，
类型：发明
国别省市：