基于海胆型镍粒子模板的场发射阴极结构及制造方法技术

本发明专利技术涉及一种基于海胆型镍粒子模板的场发射阴极结构及制造方法，该结构包括一金属底电极层，设置在所述底电极层上的海胆型镍粒子模板，覆盖在所述镍粒子表面的纳米材料或薄膜。利用模板调控场发射阴极尖端的取向和分布密度，以模板上包覆的纳米材料提高场发射性能，解决了场发射器件性能不可控的难题。该阴极结构工作电压低，电子发射效率高，发射稳定可靠，制备工艺简单。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于真空电子
，涉及平板显示领域，特别是一种。
技术介绍
场发射显示器(Field Emission Display, FED)是利用背面基板的阴极发射电子，轰击前基板的突光层而发光的一种新型器件，是平板显不与真空微电子学相结合的产物。FED被认为是最有可能与等离子体显示器(PDP)和液晶显示器(IXD)相竞争的平板显示器，兼备了阴极射线管显示器(CRT)与LCD两者的优点，具有响应速度快、宽视角、亮度高、分辨率高、色彩再现性好、耐高低温、抗振动冲击、电磁辐射极微、生产成本低等优势，拥有广阔的市场和很好的应用前景，有望成为新一代理想的平面显示器。根据场发射阴极的材料和结构，FED可分为几大类。金属材料场发射阵列采用足够尖的微尖，对设备工艺要求很高，由于发射电流密度低、成本高，所以在大屏幕显示方面很少用此技术。硅场致发射材料存在发射阈值电压较高，导电、导热性能较差，发射电流不稳定，易受污染等问题。碳纳米管(CNT)因其极高的强度、韧性和优异的导电性能，受到场发射领域广泛关注。CNT发射尖端的取向和发射位置分布密度直接影响场发射均匀性和稳定性。但由于目前制备和加工技术的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基于海胆型镍粒子模板的场发射阴极结构，其特征在于：该场发射阴极结构包括：基板；底电极层，设置于所述基板上；以及海胆型镍粒子，设置于所述金属底电极层上并作为模板；所述的模板表面覆盖有纳米材料。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：胡海龙，郭太良，张典，李福山，杨尊先，周雄图，张永爱，叶芸，
申请(专利权)人：福州大学，
类型：发明
国别省市：