【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及自动控制领域中的一种空气质量流量控制装置。
技术介绍
空气质量流量控制器用于对空气质量流量进行精密测量、控制。它在特种化学材料、电路工业、化学工业、医药、真空和环保等多种领域的生产和科研中有着重要的作用。其典型应用场合包括:扩算、氧化、外延、等离子刻蚀、离子注入、镀膜设备、光纤、混气配气系统、毛细管测量及其它分析仪器。目前,国内空气质量流量控制器由于控制电路设计存在争议、算法、参数选择缺乏科学性、器件选择缺乏实践考证,质量流量控制极易受到温度、压强、电磁干扰等外界影响,导致质量流量波动幅度大、稳定性差。所以如何设计流量波动小、稳定性好、精度高、响应速度快、稳定可靠、工作温度压力范围宽、重复性好、操作方便、便于与其它控制器或上位机连接的空气质量流量控制器就非常必要。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种设计流量波动小、稳定性好、精度高、响应速度快、稳定可靠、工作温度压力范围宽、重复性好、操作方便、便于与其它控制器或上位机连接的空气质量流量控制器。本专利技术采用的技术方案是:一种空气质量流量控制装置,包括气体质量流量传感器和流量控制电磁比例阀,所述的气 ...
【技术保护点】
一种空气质量流量控制装置,包括气体质量流量传感器(3)和流量控制电磁比例阀(7),其特征在于所述的气体质量流量传感器(3)连接信号调理电路模块(2),所述的信号调理电路模块(2)的端口A(9)连接信号控制算法电路模块(4)的端口D(14),所述的信号控制算法电路模块(4)的端口E(21)连接信号输出驱动电路模块(6)的端口F(23),所述的信号输出驱动电路模块(6)的端口G(33)连接流量控制电磁比例阀(7),所述的信号调理电路模块(3)的端口A(9)连接信号输出电路模块(1)的端口B(12),所述的信号控制算法电路模块(4)的端口C(13)连接控制信号输入电路模块(5)。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:张帅,鲁爱昕,施一万,施奇兵,叶丛雷,吴玉笛,徐合林,陆明霞,
申请(专利权)人:安徽省安光环境光学工程技术研究中心有限公司,
类型:发明
国别省市:
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