测温装置制造方法及图纸

技术编号:8786945 阅读:162 留言:0更新日期:2013-06-10 00:58
一种测温装置,包含一个架体、一个驱动单元、一个归零感测器、一个位置检知单元、一个电流侦测器及一个可程式控制单元,该可程式控制单元控制该驱动单元,且驱动一个连动件及一支测温棒移动,当该测温棒接触到固体时,该可程式控制单元比较该马达电流值大于预设的固液界面临界电流值时,能控制该马达反向运作,同时,该可程式控制单元根据该位置检知单元的检知讯号、该归零感测器的归零讯号、该电流侦测器的侦测讯号进行计算,以及配合该测温棒量测温度,能精确量测不同位置的温度变化。(*该技术在2022年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种温度量测设备,特别是涉及一种适用于量测长晶炉内部及硅熔汤温度的测温装置
技术介绍
在太阳能产业中,高转换效率和低成本一直是各太阳能产业业者开发的目标,然而就目前为止结晶硅仍是太阳能电池的主流,其电池具有较高的转换效率。结晶硅主要生产方式包括单晶硅采用柴氏法(CZ)和多晶硅采用定向凝固法(DSS)。多晶硅锭的生产流程是将多晶硅原料填入喷有涂层的石英坩埚内后放入长晶炉内,关闭炉腔后,抽真空,然后加热。待硅原料完全熔化后,打开绝缘笼且缓慢向上拉高,则炉温缓慢会下降,促使硅熔汤从石英坩埚底部开始凝固,硅晶锭从硅熔汤底部向顶部生长。待长晶完成后,硅晶锭会再经过退火、冷却后出炉为整个多晶硅锭的生产过程。多晶硅锭生产过程中影响晶锭的品质之一就是长晶速率的控制,影响长晶速率的众多因素之中,长晶炉炉温的控制最为重要。炉温是由温控系统控制,温控系统又由测温装置、可程式控制单元、功率控制器、加热元件等组成。测温装置是测量炉温的关键单元,是整个温控系统的基础,其主要功能为通过量测炉内温度后,控制长晶炉中加热器的输出功率,以控制炉温、硅原料熔化速率及长晶速率。因此,长晶炉设备商、硅晶片制造商本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种测温装置,包含一个架体、一个驱动单元、一个测温棒、一个归零感测器、一个位置检知单元、一个电流侦测器及一个可程式控制单元,该测温装置的特征在于:?该驱动单元安装于该架体,并具有一个马达及一个受该马达驱动的连动件;?该测温棒具有一个固定于该连动件且呈单向开放的中空管状的保护套管,及一支穿设于该保护套管内部且相对于该保护套管产生定位的热电偶,该保护套管具有一个与该连动件反向设置的末端部,该热电偶具有一个对应该末端部的感测端部,该热电偶能量测温度,并输出温度讯号;?该归零感测器安装于该架体,且能与该连动件配合产生归零讯号;?该位置检知单元能检知该连动件与该测温棒的移动量,且输出检知讯号;?该电流侦...

【技术特征摘要】
1.一种测温装置,包含一个架体、一个驱动单元、一个测温棒、一个归零感测器、一个位置检知单元、一个电流侦测器及一个可程式控制单元,该测温装置的特征在于: 该驱动单元安装于该架体,并具有一个马达及一个受该马达驱动的连动件; 该测温棒具有一个固定于该连动件且呈单向开放的中空管状的保护套管,及一支穿设于该保护套管内部且相对于该保护套管产生定位的热电偶,该保护套管具有一个与该连动件反向设置的末端部,该热电偶具有一个对应该末端部的感测端部,该热电偶能量测温度,并输出温度讯号; 该归零感测器安装于该架体,且能与该连动件配合产生归零讯号; 该位置检知单元能检知该连动件与该测温棒的移动量,且输出检知讯号; 该电流侦测器电连接于该驱动单元,且用于侦测该驱动单元的电流值,并输出侦测讯号; 该可程式控制单元电连接于该驱动单元、该热电偶、该归零感测器、该位置检知单元及该电流侦测器,该可程式控制单元能控制该马达的启动、停止,该可程式控制单元根据该电流侦测器的侦测讯号控制该驱动单元的马达运作方向,并根据该位置检知单元的检知讯号、该归零讯号、该侦测讯号,比较该侦测讯号与预设的固液界面临界电流值,计算出该归零讯号产生时所对应的检知讯号与判断出该侦测讯号大于固液界面临界电流值时所对应的检知讯号之间的差异,该可程式控制单元根据此差异计算出该感测端部的移动距离及该移动距离中的每一位置,且由该热电偶量测在该移动距离中不同位...

【专利技术属性】
技术研发人员:刘安钧黄志伟邵任民洪羿达
申请(专利权)人:昱成光能股份有限公司
类型:实用新型
国别省市:

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