静压气体轴承及使用该静压气体轴承的直动引导装置制造方法及图纸

一种静压气体轴承及使用该静压气体轴承的直动引导装置，该静压气体轴承(1)包括：轴承基体(2)，该轴承基体(2)优选由聚缩醛树脂(POM)、聚酰胺树脂(PA)、聚苯硫醚树脂(PPS)等可热塑性合成树脂，或者在这些可热塑性合成树脂中含有30～50质量％的玻璃纤维、玻璃粉末、碳纤维或无机填充材的含有加强填充材的可热塑性合成树脂，或者铝或铝合金形成；以及合成树脂制的轴承体(5)，该轴承体(5)被旋紧构件(4)旋紧而隔着环状密封构件(3)与轴承基体(2)一体化，优选由聚缩醛树脂、聚酰胺树脂、聚苯硫醚树脂等可热塑性合成树脂形成。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种静压气体轴承及使用该静压气体轴承的直动引导装置。
技术介绍
在精密机床、半导体曝光装置等中，要求以高精度定位加工工具、基板等被加工物。为此，使用安装有与被加工物的载置台的定位装置几乎没有摩擦的静压气体轴承的直动引导装置。在这种直动引导装置中，在作为被加工物的载置台的可动台与作为引导构件的导轨之间设置压缩空气的润滑膜，以使该可动台相对于导轨非接触地移动。作为用于该直动引导装置的静压气体轴承的空气吹出孔的节流形式，有多孔质节流、表面节流、小孔节流、自成节流等，具有上述节流形式的静压气体轴承可根据不同的用途，一边调节负载容量及轴承刚性等一边使用。例如，在专利文献I中记载有在静压轴承垫中使用材料颗粒的直径大致均匀且能获得开气孔的均等性的一种石墨碳类的材料作为轴承构件，其中，上述静压轴承垫固定于被支承体或支承体中的任一方，经由其轴承构件并利用供给到轴承面的加压空气将支承体支承成能自由移动。此外，在专利文献2中，作为能保持较高的刚性且能实现较高的衰减性的气体轴承装置，提出了一种气体轴承装置，该气体轴承装置具有两个相对的实质平行的轴承面及通过小孔将气体供给到两轴承面间的轴承间隙本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种静压气体轴承，其特征在于，包括：合成树脂制的轴承体，该轴承体具有圆环状凹部、环状肩部面、环状凹槽及多个空气吹出孔，所述圆环状凹部形成于轴承体的一方的面上，所述环状肩部面与所述圆环状凹部的外周壁面连接且直径比该外周壁面的直径大，所述环状凹槽在轴承体的另一方的面上开口，所述多个空气吹出孔形成为自成节流孔，其在一端开口于环状凹槽，在另一端开口于圆环状凹部的环状底面；环状密封构件，该环状密封构件被与环状肩部面接触地安装；以及轴承基体，该轴承基体在与轴承体的一方的面相对的一方的面上具有供气通路，所述供气通路在一端开口于与所述轴承体的一方的面相对的轴承基体的一方的面上，在另一端开口于轴承基体的外周面上...

【技术特征摘要】
2011.10.31 JP 2011-2398321.一种静压气体轴承，其特征在于，包括: 合成树脂制的轴承体，该轴承体具有圆环状凹部、环状肩部面、环状凹槽及多个空气吹出孔，所述圆环状凹部形成于轴承体的一方的面上，所述环状肩部面与所述圆环状凹部的外周壁面连接且直径比该外周壁面的直径大，所述环状凹槽在轴承体的另一方的面上开口，所述多个空气吹出孔形成为自成节流孔，其在一端开口于环状凹槽，在另一端开口于圆环状凹部的环状底面； 环状密封构件，该环状密封构件被与环状肩部面接触地安装；以及 轴承基体，该轴承基体在与轴承体的一方的面相对的一方的面上具有供气通路，所述供气通路在一端开口于与所述轴承体的一方的面相对的轴承基体的一方的面上，在另一端开口于轴承基体的外周面上， 轴承体使圆环状凹部的开口部与轴承基体的供气通路连通，并被多个旋紧构件旋紧固定于所述轴承基体，从而与轴承基体 一体化，环状凹槽具有至少0.3mm的宽度、至少0.0lmm的深度，空气吹出孔在其一端具有至少30 μ m的直径，在圆环状凹部与环状凹槽之间形成有自成节流孔。2.按权利要求1所述的静压气体轴承，其特征在于， 环状凹槽具有0.3 1.0臟或0.3 0.7臟的宽度、0.01 0.05臟或0.01 0.03臟的深度，空气吹出孔在其一端具有30 120 μ m的直径。3.按权利要求1或2所述的静压气体轴承，其特征在于， 环状凹槽及空气吹出孔分别通过激光加工而形成。4.按权利要求1至3中任一项所述的静压气体轴承，其特征在于， 圆环状凹部的内周壁面形成为从开口部朝环状底面逐渐扩展的截头圆锥面。5.按权利要求1至4中任一项所述的静压气体轴承，其特征在于， 在轴承基体的另一方的面上形成有球体受压凹部。6.按权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：佐藤光，
申请(专利权)人：奥依列斯工业株式会社，
类型：发明
国别省市：