冲洗水回收方法及装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种冲洗水回收装置及方法，该装置用于对抛光混床的冲洗水进行回收，包括抛光混床、冲洗水排放管路以及回收水箱；所述冲洗水排放管路连接抛光混床和回收水箱。本发明专利技术对冲洗水排放管路的连接进行了改造，冲洗水排放管路连接至回收水箱，回收水箱为生产线机台部分排水净化系统的起始端，能够使冲洗水回收并净化，从而使得冲洗水得到回收利用，避免大量的冲洗水的浪费，大大降低了生产成本，极大的节约了水资源。

【技术实现步骤摘要】
冲洗水回收方法及装置
本专利技术涉及一种冲洗水回收方法及装置。
技术介绍
目前，半导体生产中，UPW系统(超纯水系统)中的抛光混床在更换完MBP树脂(精抛光混床树脂)后，需要大量的冲洗水长时间冲洗MBP树脂后才能投入使用。但是，大量的冲洗水在冲洗完MBP树脂后，经由冲洗水排放管路直接排放到WffT系统(废水处理系统)中，然后排外到市政水管路，没有对冲洗水进行回收利用，造成大量的冲洗水浪费，提高了成本，极大的浪费了水资源。
技术实现思路
有鉴于此，有必要提供一种对冲洗水进行回收的冲洗水回收方法及装置。一种冲洗水回收装置，用于对抛光混床的冲洗水进行回收，包括抛光混床、冲洗水排放管路以及回收水箱；所述冲洗水排放管路连接抛光混床和回收水箱。优选的，所述冲洗水回收装置还包括设置在所述冲洗水排放管路上的第一阀门；所述第一阀门控制所述冲洗水排放管路的导通和关闭。优选的，所述冲洗水回收装置还包括冲洗水分流支路以及第二阀门；所述冲洗水分流支路一端与第一阀门和抛光混床之间的冲洗水排放管路连接，另一端连接至废水处理系统，第二阀门设置在所述冲洗水分流支路上，用于控制冲洗水分流支路的导通与关闭。优选的，所述第一阀本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种冲洗水回收装置，用于对抛光混床的冲洗水进行回收，其特征在于，包括抛光混床、冲洗水排放管路以及回收水箱；所述冲洗水排放管路连接抛光混床和回收水箱。

【技术特征摘要】
1.一种冲洗水回收装置，用于对抛光混床的冲洗水进行回收，其特征在于，包括抛光混床、冲洗水排放管路以及回收水箱；所述冲洗水排放管路连接抛光混床和回收水箱。2.根据权利要求1所述的冲洗水回收装置，其特征在于，所述冲洗水回收装置还包括设置在所述冲洗水排放管路上的第一阀门；所述第一阀门控制所述冲洗水排放管路的导通和关闭。3.根据权利要求2所述的冲洗水回收装置，其特征在于，所述冲洗水回收装置还包括冲洗水分流支路以及第二阀门；所述冲洗水分流支路一端与第一阀门和抛光混床之间的冲洗水排放管路连接，另一端连接至废水处理系统，第二阀门设置在所述冲洗水分流支路上，用于控制冲洗水分流支路的导通与关闭。4.根据权利要求3所述的冲洗水回收装置，其特征在于，所述第一阀门和第二阀门均为电磁阀，所述冲洗水回收装置还包括监测器以及控制器；所述监测器设置在所述回收水箱上，用来监测回收水箱中的水位，所述控制器连接监测器、第一阀门以及第二阀门，在回收水箱水位高于预定水位时，控制第一阀门关闭，第二阀门打开。5.根据权利要求4所述的冲洗水回收装置，其特征在于，所述监测器采用声波监测器。6.一种...

【专利技术属性】
技术研发人员：王诗涛，陈志正，
申请(专利权)人：无锡华润上华科技有限公司，
类型：发明
国别省市：