基于单束光分束的激光诱导击穿光谱分析装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种基于单光束分束的激光诱导击穿光谱分析装置，包括光路相应联接的激光源、激光分束装置、直路光学传输装置、旁路光学传输装置，以及光纤探测器、光谱仪和数据分析器，由激光分束装置将激光源发射的一束激光分成两束激光，一束激光由直路光学传输装置聚焦后垂直入射到样品表面，另一束激光由旁路光学传输装置调整激光入射角度至与垂直入射激光在样品表面上的作用点重合的角度并经聚焦入射到样品表面，两束激光共同激发样品产生等离子体，收集等离子体的光纤探测器由光纤与光谱仪相连，将等离子体发射光谱耦合进光谱仪，光谱仪通过USB数据线将采集的光谱数据传输给数据分析器对样品成分进行检测分析，得到样品成分信息。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术属于光谱分析
，涉及一种激光光谱分析技术，尤其是一种基于单光束分束技术产生双光束的激光诱导击穿光谱分析技术，具体涉及一种双光束激光诱导击穿光谱分析方法及其实施装置。
技术介绍
激光诱导击穿光谱(LaserInduced Breakdown Spectroscopy, LIBS)技术是一种新型原子发射光谱技术，该技术凭借着检测速度快、多组分同时测定、具备现场原位分析能力和无需复杂的样品前处理等优势，广泛应用于油气开采、地质勘探、冶金电力和环境监测等诸多领域。但是近几年来，其较低的灵敏度和较高的检出限已经成为制约LIBS技术发展的瓶颈，因此得到广大LIBS研究人员的高度重视。目前针对此类问题的解决方案主要包括1.基于微波辅助的信号增强方法该方法在待测样品周围加入微波能量，通过改变激光诱导等离子体的生存环境，实现了对LIBS光谱信号的增强；2.基于高压放电辅助的信号增强方法该方法在激光诱导等离子体处加入两个高压电极，通过高压放电对等离子体实现二次激发，实现了对LIBS光谱信号的增强；3.基于激光双脉冲的信号增强方法该方法利用两个激光器和一个延时器产生两个具有一定延迟时间(微秒本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基于单束光分束的激光诱导击穿光谱分析装置，其特征在于主要包括光路相应联接的激光源（1）、激光分束装置（2）、直路光学传输装置（3）、旁路光学传输装置（4），以及光纤探测器（5）、光谱仪（6）和数据分析器（7），所述激光分束装置将激光源发射的一束激光分成两束激发激光，其中一束激发激光由直路光学传输装置聚焦后垂直入射到样品表面，另一束激发激光由旁路光学传输装置调整激光入射角度至与直路激发激光在样品表面上的作用点重合的角度并经聚焦入射到样品表面，两束激发激光共同激发样品产生等离子体，检测窗口对准等离子体的光纤探测器由光纤与光谱仪相连，将等离子体发射光谱耦合进光谱仪，光谱仪通过USB数据线将采集的...

【技术特征摘要】
1.一种基于单束光分束的激光诱导击穿光谱分析装置，其特征在于主要包括光路相应联接的激光源(I)、激光分束装置(2)、直路光学传输装置(3)、旁路光学传输装置(4)，以及光纤探测器(5)、光谱仪(6)和数据分析器(7)，所述激光分束装置将激光源发射的一束激光分成两束激发激光，其中一束激发激光由直路光学传输装置聚焦后垂直入射到样品表面，另一束激发激光由旁路光学传输装置调整激光入射角度至与直路激发激光在样品表面上的作用点重合的角度并经聚焦入射到样品表面，两束激发激光共同激发样品产生等离子体，检测窗口对准等离子体的光纤探测器由光纤与光谱仪相连，将等离子体发射光谱耦合进光谱仪，光谱仪通过USB数据线将采集的光谱数据传输给数据分析器对样品成分进行检测分析。2.根据权利要求1所述的基于单束光分束的激光诱导击穿光谱分析装置，其特征在于所述激光源为能量不小于30毫焦、波长为1064nm、532nm、355nm或266nm的脉冲激光。3.根据权利要求1所述的基于单束光分束的激光诱导击穿光谱分析装置，其特征在于所述激光分束装置(2)由一个具备旋转功能的第一镜架和安置在镜架上的一个激光分束镜(8)构成。4.根据权利要求1所述的基于单束光分束的激光诱导击穿光谱分析装置，其特征在于所述直路光学传输装置由一个焦长为的第一聚焦透镜和第二镜架组成，通过第二镜架将第一透镜固定在样品表面上方A处。5.根据权利要求1至4之一所述的基于单束光分束的激光诱导击穿光谱分析装置，其特征在于所述旁路光学传输装置(4)由至少一个第一反射镜(14)、焦长为f2的第二聚焦透镜(16)、安装第一反射镜的第三...

【专利技术属性】
技术研发人员：段忆翔，杨光，林庆宇，
申请(专利权)人：四川大学，
类型：实用新型
国别省市：