一种小型化微机械滤波器制造技术

本实用新型专利技术公开了一种小型化微机械滤波器。该滤波器基于微机械工艺制作，由上、下两层介质材料叠加而成；上介质层下表面有交指型金属电极层；下介质层上表面有接地键合焊环，焊环之间有采用刻蚀工艺制备的空腔；上、下介质层上均设有通孔，通孔内壁有金属层；上、下介质层表面有表面电极层，其中，上介质层表面设有输入、输出引出线。该滤波器可以满足微波滤波器工作频率高、带宽大、损耗小等指标要求，具有体积小、全密封、可靠性高的特点。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

一种小型化微机械滤波器
本技术涉及一种微机械滤波器，特别涉及一种基于微机械制作工艺的小型化微机械滤波器。
技术介绍
随着通信信息量的膨胀和整机系统的复杂化，整机系统对微波滤波器的小体积要求越来越迫切。传统的腔体滤波器、介质滤波器等滤波器体积过大，不能满足系统的体积要求。低温共烧陶瓷(LTCC)滤波器由于采用陶瓷烧结工艺，工艺一致性难以保证。微机械滤波器是近年来诞生的一种新型滤波器，它采用硅基片或石英基片作为基材，成功将微机械工艺和微波滤波器设计技术结合起来，除了具有微机械器件工艺精度高、 一致性好、体积小等优点外，还具有带宽大、损耗小、幅相一致性好等电性能优点。文献“Low-Loss Micromachined Filters for Millimeter-ffave Communication Systems，，，IEEE transactions on microwave theory and techniques, 1998,46 (12): 2283-2288，介绍了一种微机械滤波器结构，体积相对腔体滤波器大幅度减小。但该滤波器使用微米量级的介质膜作为支撑层，这降低了本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种小型化微机械滤波器，包括叠加的上介质层和下介质层，其特征在于：所述上介质层和下介质层之间设置有带抽头信号线的交指电极的上介质层下表面金属电极层以及带接地电极环的下介质层上表面金属电极层；所述与下介质层上表面金属电极层相接触的下介质层上表面设置有与接地电极环相匹配的空腔；所述上介质层表面上方设置有上介质层上表面金属层，所述下介质层表面下方设置有下介质层下表面金属层，所述上介质层上还设置有与上介质层下表面金属电极层相配合的通孔，所述下介质层上还设置有与下介质层上表面金属电极层相配合的通孔，所述上介质层上表面金属层的电极通过上介质层通孔与上介质层下表面金属电极层的电极连接；所述下介质层下表面金属...

【技术特征摘要】
1.一种小型化微机械滤波器，包括叠加的上介质层和下介质层，其特征在于所述上介质层和下介质层之间设置有带抽头信号线的交指电极的上介质层下表面金属电极层以及带接地电极环的下介质层上表面金属电极层；所述与下介质层上表面金属电极层相接触的下介质层上表面设置有与接地电极环相匹配的空腔；所述上介质层表面上方设置有上介质层上表面金属层，所述下介质层表面下方设置有下介质层下表面金属层，所述上介质层上还设置有与上介质层下表面金属电极层相配合的通孔，所述下介质层上还设置有与下介质层上表面金属电极层相配合的通孔，所述上介质层上表面金属层的电极通过上介质层通孔与上介质层下表面金属电极层的电极连接；所述下介质层下表面金属层的电极通过下介质层通孔与下介质层上表面金属电极层的电极连接；所述下介质层上表面金属电极层的接地电极环与上介质层下表面金属电极层的接地电极环连接；所述上、下介质层中的任一个介质层表面设有输入、输出信号线。2.根据权利要求I所述的小型化微机械滤波器，其特征在于所述上介质层下表面金属电极层、上介质层上表面金属层、下介质层上表面金属和下介质层下表面金属层采用微机械工艺制作。3.根据权利要求I所述的小型化微机械滤波器，其特征在于所述上、下...

【专利技术属性】
技术研发人员：杜波，马晋毅，江洪敏，曹家强，杨靖，蒋欣，
申请(专利权)人：中国电子科技集团公司第二十六研究所，
类型：实用新型
国别省市：