微机械系统中固支梁疲劳特性的电阻测量结构及测量方法技术方案

本发明专利技术公开了一种微机械系统中固支梁疲劳特性的电阻测量结构，包括衬底、固支梁、第一锚区、第二锚区、第一驱动电极、第二驱动电极和窄条电极组，窄条电极组由至少三条两端连接压焊块的窄条电极组成；各窄条电极的中部断开，形成窄条电极对；固支梁的两端固定连接在第一锚区和第二锚区上；第一驱动电极、第二驱动电极和窄条电极组位于固支梁的下方，且各窄条电极的中部均位于固支梁的正下方；第一驱动电极和第二驱动电极分布在窄条电极组的两侧，且相互对称。利用该电阻测量结构能够获取固支梁的性能因疲劳而衰变的信息。本发明专利技术还公开了一种该电阻测量结构的测量方法，该方法方便易行，结果可靠。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及微机械系统(文中简称MEMS)制造、性能及其可靠性测试的领域，具体来说，涉及一种。
技术介绍
MEMS器件，如加速度计、RF开关、压力传感器中的一些可动结构，在工作过程中会以伸缩、振动弯曲等形式产生交变应力，使材料中产生微裂纹，随着循环次数的增加，微裂纹将扩展致使器件疲劳断裂。研究MEMS结构的疲劳特性，了解器件性能的衰减过程，对于高性能MEMS器件的可靠性设计十分重要。MEMS结构的疲劳特性，一般通过加载循环载荷,实测应力-循环次数曲线来反映。也可以通过测量循环载荷下机械结构谐振频率或者吸合(pulΙ-1n)电压的变化来反映结构的损伤及裂纹传播。前者主要反映结构的疲劳寿命，而后者能够反映因疲劳引起微结构性能衰变的过程。但是微结构尺寸小，谐振频率高。因此谐振频率的测试需要借助于复杂的电路系统或成本较高的多普勒测振设备等。此外，电压到达吸合电压附近时，梁突然吸合，因此精确捕获吸合电压值很困难。本专利技术通过设计测试结构和测试方法，利用简单的电阻测量来获取固支梁结构性能衰变的过程，方便易行。
技术实现思路
技术问题本专利技术所要解决的技术问题是，提供一种微机械系统中固支梁疲劳本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种微机械系统中固支梁疲劳特性的电阻测量结构，其特征在于：所述的测量结构包括衬底（1）、固支梁（2）、第一锚区（31）、第二锚区（32）、第一驱动电极（41）、第二驱动电极（42）和窄条电极组，窄条电极组由至少三条两端连接压焊块的窄条电极组成；各窄条电极的中部断开，形成窄条电极对；第一锚区（31）、第二锚区（32）、第一驱动电极（41）、第二驱动电极（42）和窄条电极组固定连接在衬底（1）的顶面，固支梁（2）的两端固定连接在第一锚区（31）和第二锚区（32）上，且固支梁（2）处于悬空状态；第一驱动电极（41）、第二驱动电极（42）和窄条电极组位于固支梁（2）的下方，且各窄条电极的中部均位于固支...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：唐洁影，陈洁，
申请(专利权)人：东南大学，
类型：发明
国别省市：