游星轮制造技术

本发明专利技术公开了一种游星轮，属于蓝宝石加工技术领域，所述游星轮由母轮与子轮组成，所述母轮外圆周上设有与研磨设备匹配的齿，其内开有与所述子轮外径相匹配的孔；所述子轮内开有容纳待加工工件的孔。与现有技术相比，本发明专利技术游星轮，研磨作业时子轮在母轮内转动，从而带动加工件自转，使得研磨作业更均匀，研磨后晶片表面的TTV、Warp等指标均能达到的要求，本发明专利技术游星轮，设计巧妙合理，解决了对各类非标件研磨时制作多个载具的问题，大幅度降低研磨成本。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于蓝宝石加工
，尤其涉及一种蓝宝石切片后研磨的载具。
技术介绍
蓝宝石是加工蓝光二极管的重要材料，在半导体领域具有举足轻重的地位。在制作客户需要的蓝宝石片之前，要对蓝宝石进行切片后研磨。现有技术中，对蓝宝石切片后多采用双面研磨工艺进行加工。加工时，通过研磨粉颗粒对蓝宝石片进行研磨。蓝宝石衬片的研磨是蓝宝石基板制造中非常重要的一项工艺流程，它决定了蓝宝石切片后晶片的总厚度变化，翘曲度，表面粗糙度等相关质量。传统的载具用于对各类非标件的研磨时候，造成成本高，研磨后缺陷多，且容易破片。
技术实现思路
针对上述技术问题，本专利技术提供一种良好研磨各类非标蓝宝石切片的游星轮，大大降低了生产成本，有效保证了研磨后晶片的质量。本专利技术解决上述问题所采用的技术方案是一种游星轮，所述游星轮由母轮与子轮组成，所述母轮外圆周上设有与研磨设备匹配的齿，其内开有与所述子轮外径相匹配的孔；所述子轮内开有容纳待加工工件的孔。与现有技术相比，本专利技术游星轮，研磨作业时子轮在母轮内转动，从而带动加工件自转，使得研磨作业更均匀，研磨后晶片表面的TTV、Warp等指标均能达到的要求，本专利技术游星轮，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种游星轮，其特征在于：所述游星轮由母轮与子轮组成，所述母轮外圆周上设有与研磨设备匹配的齿，其内开有与所述子轮外径相匹配的孔；所述子轮内开有容纳待加工工件的孔。

【技术特征摘要】
1.一种游星轮，其特征在于所述游星轮由母轮与子轮组成，所述母轮外圆周上设有与研磨设备匹配的齿，其内开有与所述子轮外径相匹配的孔；所述子轮内开有容纳...

【专利技术属性】
技术研发人员：戴磊，王禄宝，
申请(专利权)人：江苏吉星新材料有限公司，
类型：发明
国别省市：