一种触控传感器、其制备方法及显示装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种触控传感器、其制备方法及显示装置，通过使BM保护层与金属层具有相同的图形，使得生产触控传感器的工艺流程需要5个掩膜板，并实施5次光刻操作，解决了现有触控传感器生产流程中6次光刻工艺使产能低，且需要使用6个掩膜板使成本高的问题。本发明专利技术涉及触控传感器设计制造领域。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及触控传感器设计制造领域，尤其涉及一种触控传感器、其制备方法及显示装置。
技术介绍
目前，触摸传感器(Touch sensor)技术可以分为两片玻璃(G — G, Glass-Glass)触控技术类型和单片玻璃触控技术(OGS，One Glass Solution)类型。G — G类型是将touch sensor制作在普通玻璃上,然后和保护玻璃进行贴合，其优点是制造工艺简单，和阵列(array)产线兼容性好。但是由于是双层玻璃贴合，具有厚度比较厚，而且透过率偏低的缺点。OGS是将touch sensor直接制作在强化玻璃上，由挡光的黑色矩阵(BM，BlackMatrix)材料、起保护作用的保护膜(0C, Over Coat)材料和金属布线组成。OGS的优点是只有一张玻璃，厚度比较薄，而且OC的透过率要好于G-G的SiNx (SiH4与NH3混合气体作为反应气体，辉光放电生成等离子体在衬底上成的膜)绝缘膜材料。现有技术中，OGS产品的生产相应的膜层及工艺流程如下第一层BM层，利用BM形成黑色的边框；第二层0C0 (over coat IayerO)保护层，用于形成氧化铟本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种触控传感器，所述触控传感器从下到上依次包括：透明基板、黑色矩阵BM层、BM保护层和金属层，其特征在于，所述BM保护层具有与所述金属层相同的图形。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：曲连杰，郭建，
申请(专利权)人：北京京东方光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：