【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种闸流管充气系统。
技术介绍
随着闸流管生产量的增长及闸流管生产效率的提高，传统的钯合金膜扩散法纯化氢气的方法越来越具有一定的局限性，特别是在工艺需求大量氢气时，目前钯合金膜扩散法的纯化速度无法满足。为了提高钯合金膜扩散法纯化氢气的速度和效率，可以减小钯合 金管的厚度、提高钯合管的工作温度、升高钯合金管两端的压差，但是这样就容易造成钯合金管漏气寿命严重缩短。同时钯是一种贵金属，价格昂贵，造成成本较高。
技术实现思路
为了克服上述缺陷，本技术提供了一种闸流管充气系统，可实现向闸流管内充高纯度、压力可控的氢气或氘气等。本技术为了解决其技术问题所采用的技术方案是一种闸流管充气系统，包括置于密封腔内的闸流管，所述闸流管通过管道连通一储氢罐，且在闸流管和储氢罐之间的管道上依次设有工位阀和充氢微调阀；所述储氢罐又通过管道连接到一第一金属氢化物储氢器，在该储氢罐和第一金属氢化物储氢器之间的管道上依次设有进氢阀、第一隔离阀和第一储氢阀；在所述进氢阀和第一隔离阀之间的管道上依次设有两管道支路，该两管道支路上分别设有连接阀和清空阀；所述储氢罐上设有第一薄膜真空计；所述闸流管...
【技术保护点】
一种闸流管充气系统，包括置于密封腔（1）内的闸流管（2），其特征在于：所述闸流管通过管道连通一储氢罐（5），且在闸流管和储氢罐之间的管道上依次设有工位阀（3）和充氢微调阀（4）；所述储氢罐又通过管道连接到一第一金属氢化物储氢器（9），在该储氢罐和第一金属氢化物储氢器之间的管道上依次设有进氢阀（6）、第一隔离阀（7）和第一储氢阀（8）；在所述进氢阀和第一隔离阀之间的管道上依次设有两管道支路，该两管道支路上分别设有连接阀（10）和清空阀（11）；所述储氢罐上设有第一薄膜真空计（12）；所述闸流管和工位阀之间的管道上设有第二薄膜真空计（13）。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：黄俊杰，
申请(专利权)人：昆山国力真空电器有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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