具有MEMS技术的电动式扬声器结构制造技术

具有MEMS技术的电动式扬声器结构，包括：定子-成形构件(2)、膜片-成形构件(3)、以及用于连接所有这些构件的弹性形变构件(4)，其特征在于定子-成形构件(2)、膜片-成形构件(3)、以及连接构件(4)通过加工硅芯片由单一部件构成。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本申请涉及一种具有微机电系统(Micro-Electro-MechanicalSystems,MEMS)技术的电动式扬声器结构。更为具体地说，本申请涉及这样的一种结构，其包括定子-成形构件、膜片-成形构件、以及用于连接所有这些构件的弹性形变构件。
技术介绍
现有技术中已知的扬声器结构是如同Sang-Soo等人在“A Compact and Low-CostMEMS Loudspeaker for Digital Hearing Aids (用于数字扬声器的一种紧凑且低成本的MEMS扬声器)”一文中所描述的类型(参见 IEEE Transactions on Biomedical Circuitsand Systems (生物医学电路与系统会报)volume 3, No. 5, October 2009)。 在这篇文献中，膜片-成形构件采用聚酰亚胺薄膜的形式，聚酰亚胺薄膜与基于娃芯片制成的定子-成形构件相关联。虽然如此，这种膜片-成形构件结构具有某些缺点，特别是涉及其生产的复杂度、其功率限制、以及其输出。因此，本申请旨在解决这些问题。
技术实现思路
为此，本申请涉及具有MEMS技术的电动本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2010.01.19 FR 10503301.一种具有MEMS技术的电动式扬声器结构,包括定子-成形构件(2)、膜片-成形构件(3)、以及用于连接所有这些构件的弹性形变构件(4)，其特征在于所述定子-成形构件(2)、膜片-成形构件(3)、以及连接构件(4)通过加工硅芯片由单一部件构成。2.根据权利要求I所述的电动式扬声器结构，其特征在于所述连接构件(4)包括连接臂(5、6、7、8)，所述连接臂(5、6、7、8)有规律地分布在所述定子-成型构件(2)与所述膜片-成形构件⑶之间。3.根据前述权利要求中任一项所述的电动式扬声器结构，其特征在于所述膜片-成形构件(3)的至少一个表面包括其加强构件(9、10)。4.根据权利要求3所述的电动式扬声器结构，其特征在于所述加强构件包括筋(10)。5.根据权利要求4所述的电动式扬声器结构，其特征在于所述加强构件包括径向筋(10)。6.根据前述权利要求中任一项所述的电动式扬声器结构，其特征在于所述膜片-成形构件(3)具有朝向其边缘方向增加的厚度。7.根据前述权利要求中任一项所述的电动式扬声器结构，其特征在于所述膜片-成形构件(3)的至少一个表面包括线圈-成形构件(11)。8.根据权利要求7所述的电动式扬...

【专利技术属性】
技术研发人员：盖伊·勒玛匡德，瓦莱丽·勒玛匡德，以利亚·玛丽·勒弗夫尔，玛丽安·亚历山大·劳伦斯·瓦伊达斯克，约翰·穆兰，法比恩·让·弗朗索斯·帕瑞恩，
申请(专利权)人：缅因大学，
类型：
国别省市：