一种微生物去除装置和基板清洗设备制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及显示技术领域，公开了一种微生物去除装置和基板清洗设备。该微生物去除装置包括进水口和出水口，并且进水口和出水口之间由水管相连；所述装置还包括发出的光线能够照射到水管的灭菌灯管。无论清洗玻璃基板的水是否为循环利用，本实用新型专利技术的微生物去除装置能够对清洗基板的水进行灭菌处理，清洗基板的水因经过灭菌处理而含有极少微生物甚至不含有微生物，因此能够有效改善基板的清洗效果。该基板清洗设备使用了上述的微生物去除装置，也可以有效改善基板的清洗效果。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

一种微生物去除装置和基板清洗设备
本技术涉及显示技术，特别涉及一种微生物去除装置和基板清洗设备。
技术介绍
在显示面板(如液晶面板、OLED面板等)的制造中，需要对玻璃基板等基板进行清洗。在清洗过程中，为了减少水资源的浪费，在基板清洗设备中用于清洗基板的水会被循环使用。这导致循环使用的水中的微生物含量逐渐增加。目前，电子生产行业针对微生物滋生的问题主要采取以下三种方法第一，不使用循环水，直接用纯水一次性清洗，这种方法的纯水使用量大，过于浪费，同时也要求工厂有极高的水处理能力，增加了产品成本；第二，定期清洁用于清洗玻璃基板的清洗系统，但清洗系统的管路复杂，并且需要长时间的停机操作，因此清洗极为不便，影响生产，费时费力； 第三，定期在对玻璃基板进行清洗的水中添加具有一定氧化作用的化学试剂，以去除微生物，但这种方法除菌不完全，除菌有效期短，一段时间后又会有微生物滋生。
技术实现思路
有鉴于此，本技术的主要目的在于提供一种微生物去除装置和基板清洗设备，用于减少基板清洗设备中用于清洗基板的水中的微生物，改善基板的清洗效果。为达到上述目的，本技术的技术方案是这样实现的本技术一方面提供一种微生物去除装置，该装置包括进水口和出水口，并且进水口和出水口之间由水管相连；所述装置还包括发出的光线能够照射到水管的灭菌灯管。该装置可以设置于基板清洗设备中，用于减少基板清洗设备中的水中的微生物。其中，所述水管的材质为石英,水管的数量为一个或多个。其中，当水管的数量为一个时,水管的形状为包括S或U形在内的迂回形状。其中，所述灭菌灯管是紫外线灯管，所述灭菌灯管的数量为一个或多个。其中，所述灭菌灯管的安装位置为紧贴或靠近水管的位置。其中，所述灭菌灯管的安装方式为一个灭菌灯管设置在多个水管中间，或多个灭菌灯管环绕在一个水管周围。其中，该装置还设置有外壳，材质是金属。进一步地，所述外壳的内壁为反光的光滑面。进一步地，所述外壳包含多个分体结构，各分体结构依靠连接件组合为整体。其中，所述装置还包括控制器，用于对灭菌灯管的功率大小和开关的时间进行控制。本技术实施例另一方面提供一种基板清洗设备，其包括权上述任一所述的微生物去除装置。可见，无论清洗基板的水是否为循环利用，本技术的微生物去除装置能够对基板清洗设备中清洗玻璃基板等基板的水进行灭菌处理，清洗基板的水因经过灭菌处理而含有极少微生物甚至不含有微生物，因此能够有效改善玻璃基板的清洗效果。附图说明图I为本技术实施例的微生物去除装置结构图；图2为本技术实施例的微生物去除装置在清洗系统中的工作原理示意图；附图标记说明I、进水口 ；2、出水口 ；3、水管；4、灭菌灯管；5、外壳；6、控制器；7、支架；8、玻璃基板；9、水管；11、收集室；12、箱；13、高压泵；14、常压泵；15、过滤器；16、清洗喷嘴；17、传动滚轴；19、微生物去除装置。具体实施方式紫外线(UV)在工业应用中被认为具有良好的杀菌消毒的能力，因此可将UV应用在清洗玻璃基板等基板的清洗系统(即基板清洗设备)中以去除微生物；同时UV还可以氧化水中所溶解的O2，使之电离成O3，而含有O3的臭氧水可去除玻璃基板表面所附着的有机物，提高了玻璃基板的洁净度。基于以上原理，可以进入如图I所示的设置。参见图1，图I为本技术实施例的微生物去除装置结构图。图I所示的微生物去除装置19包括进水口 I和出水口 2，并且进水口 I和出水口 2之间由水管3相连，清洗玻璃基板的水从进水口 I进入微生物去除装置19，流经水管3后从出水口 2流出并用于清洗玻璃基板。进水口 I和出水口 2之间安装有灭菌灯管4，如水管3的附近(如紧贴或靠近)安装有灭菌灯管4。在进水口 I和出水口 2之间，还可以安装包围水管3、灭菌灯管4的外壳5。微生物去除装置19上还可以安装支架7 (如将支架7安装在外壳5上)，以方便微生物去除装置19的安装。需要说明的是，水管3的材质可以为石英等，水管3的数量可以为一个或多个。当水管3的数量为一个时，水管3的形状可以设计为形如S、U等的迂回形状，以尽量增加水管 3的长度，使流经水管3的水量尽量大，以便灭菌灯管4发出的灭菌灯光能够照射到尽量多的水。当水管3的数量为多个时，能够在得到较高灭菌效率的同时提供较高的流速。灭菌灯管4所发出的光可以是紫外线等能够杀灭微生物的光线，即灭菌灯管4是紫外线灯管等能够杀灭微生物的灯管。灭菌灯管4的数量可以为一个或多个，灭菌灯管4 的数量越多，灭菌效果越好。灭菌灯管4的安装位置可随意设置，只要灭菌灯管4发出的灭菌灯光能够照射到流经水管3中的水即可，如一个灭菌灯管4设置在多个水管3中间，多个灭菌灯管4环绕在一个水管3周围等。外壳5的材质可以是不透明的金属等，也可以是透明的玻璃等。当外壳5的材质是金属时，可以将外壳5的内壁设置为反光的光滑面，以便最大限度地利用灭菌灯管4所发出的灭菌光线。并且，外壳5可以包含多个分体结构，各分体结构能够依靠螺栓、铰链等连接件组合为整体，以方便水管3、灭菌灯管4的拆卸和安装。为了提高灭菌效果，还可以应用控制器6对灭菌灯管4进行光照控制，如调节灭菌灯管4的功率大小和开关的时间，以便在具有较好灭菌效果的同时节约电能并延长灭菌灯管4的使用寿命。在实际应用中，还可以根据灭菌的最佳时间和水的流速计算出灭菌灯管4的口径和长度的比例，据此设置合适的灭菌灯管4。由以上技术描述可见，无论清洗玻璃基板的水是否为循环利用，从图I中的微生物去除装置19的进水口 I流进的用于清洗玻璃基板的水，在流经水管3时能够被灭菌灯管 4进行灭菌处理，完成灭菌处理的水则能够通过出水口 2流出并用于清洗玻璃基板。因此， 清洗玻璃基板的水因经过灭菌处理而含有极少微生物甚至不含有微生物，因此能够有效改善玻璃基板的清洗效果。本实施例还提供一种基板清洗设备，其使用了上述的任一种微生物去除装置。在具体应用图I所示的微生物去除装置19时，可以将微生物去除装置19设置在用于清洗玻璃基板的清洗系统(即基板清洗设备)中的任何位置，如将微生物去除装置 19设置在如图2所示的位置。图2中，清洗系统中的清洗喷嘴16能够将DIW(去离子水) 喷淋到玻璃基板8 (玻璃基板8可由传动滚轴17带动，还可用刷子等对玻璃基板8进行清洁)上，从玻璃基板8上流下的水能够被收集室11收集并经水管9汇聚到箱12中。箱12 中的水则能够经过水管9、清洗喷嘴16 (水从箱12到清洗喷嘴16时可能还会流经高压泵 13、常压泵14、过滤器15等常见器件)被喷淋到玻璃基板8上，从玻璃基板8上流下的水能够被收集室11收集并经水管9再次汇聚到箱12中，这样就形成了用于清洗玻璃基板的水循环。由图2可见，微生物去除装置19设置在过滤器15与清洗喷嘴16之间的水管9上， 这样能够保证流经水管9的水被微生物去除装置19有效灭菌。可见，在具有同样的灭菌效果的情况下，还可以将微生物去除装置19设置在如图中所示的A、B、C、D等任何位置，即将微生物去除装置19设置在用于清洗玻璃基板8的清洗系统的水管9上。在实际应用中，还可以将灭菌灯管4用透明玻璃密封后直接置于箱12中，也能起到一定的灭菌作用。综上所述可见，无论清洗玻璃基板的水是否为循环利用，本技术本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种微生物去除装置，其特征在于，该装置包括进水口和出水口，并且进水口和出水口之间由水管相连；所述装置还包括发出的光线能够照射到水管的灭菌灯管。

【技术特征摘要】
1.一种微生物去除装置，其特征在于，该装置包括进水口和出水口，并且进水口和出水口之间由水管相连；所述装置还包括发出的光线能够照射到水管的灭菌灯管。2.根据权利要求I所述的微生物去除装置，其特征在于，所述水管的材质为石英，水管的数量为一个或多个。3.根据权利要求2所述的微生物去除装置，其特征在于，当水管的数量为一个时，水管的形状为包括S或U形在内的迂回形状。4.根据权利要求I所述的微生物去除装置，其特征在于，所述灭菌灯管是紫外线灯管， 所述灭菌灯管的数量为一个或多个。5.根据权利要求I所述的微生物去除装置，其特征在于，所述灭菌灯管的安装位置为 紧贴或靠近水管的位置。6.根据权利要求5所述的微生物去除...

【专利技术属性】
技术研发人员：高安安，
申请(专利权)人：北京京东方光电科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：