本发明专利技术公开了一种具有快进慢进复合动作的扩散炉炉门机构。它包括固定板和炉门，所述炉门通过两根平行的摇摆连杆与一个移动底座摆动铰链，该移动底座上装有一个气缸经传动机构活动连接摇摆连杆，实现炉门的快速摆动至炉门口前；所述移动底座滑动安置在所述固定板上，该固定板上固定安装一个快进复合动作气缸，该快慢复合动作气缸有两个平行的活塞杆与移动底座固定连接，实现炉门的先快后慢闭合和先慢后快开启。本发明专利技术的炉门机构能实现炉门先快后慢闭合和先慢后快开启动作，密封性能好，动作安全可靠，本发明专利技术结构简单紧凑，易于操作。
【技术实现步骤摘要】
本结构涉及一种扩散炉炉门机构，尤其涉及一种快进慢进复合运动的扩散炉炉门机构，用于硅片加工的扩散炉上，能灵活开闭。
技术介绍
扩散炉作为半导体制备过程中重要的设备之一，广泛用于集成电路、电力电子、太阳能电池等生产行业；同时扩散炉也是民用、军事材料生产的必不可少的重要设备之一。扩散炉的炉口处于敞开状态，将导致炉内热量向外扩散，增加扩散炉的热量损失，同时增加了扩散炉的加热功率，而且扩散热量会对室内环境产生热辐射。由于扩散炉在工作过程中，石英管中必须保证不能有金属离子等能干涉扩散效果·的材料，所以我们采用的炉门材质为玻璃，但是玻璃材质的炉门与石英管如果快速碰撞的话会容易发生碎裂，所以炉门与石英管应该缓慢接触。本扩散炉炉门结构中采用自行设计的有快进慢进复合动作的气缸，该气缸驱动炉门快速靠近石英管，当要接近石英管的时候再缓慢的靠近，这样不仅提高了关闭、打开炉门的效率，而且避免了炉门与石英管碰撞而产生的易碎现象。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种具有快进慢进复合动作的扩散炉炉门机构，该炉门为玻璃材质。该机构可以实现炉门快速靠近石英管，当接近石英管的时候炉门再缓慢靠近，起到关闭炉门的效果；同样也能使炉门先缓慢离开石英管，再快速移动炉门，起到了打开炉门的效果。其机构结构简单，易于操作。为达到上述目的，本专利技术采用下述技术方案 一种具有快进慢进复合运动的扩散炉炉门机构，包括固定板和炉门，其特征在于所述炉门通过两根平行的摇摆连杆与一个移动底座摆动铰链，该移动底座上装有一个气缸经传动机构活动连接摇摆连杆，实现炉门的快速摆动至炉门口前；所述移动底座滑动安置在所述固定板上，该固定板上固定安装一个快进复合动作气缸，该快慢复合动作气缸有两个平行的活塞杆与移动底座固定连接，实现炉门的先快后慢闭合和先慢后快开启。所述两根摇摆连杆的一端别各通一个轴承和一根短轴与炉门转动连接，另一端与移动底座铰链；所述气缸与摇摆连杆之间的传动机构是气缸的活塞杆通过一个联轴器与一根轴联接，该轴与一个叉形连接块固定连接，两根摇摆连杆中的一根摇摆连杆上有一个长条形穿槽，该穿槽内滑配插一根销，该销的两端与所述叉形连接块的两叉头端固定连接。所述快慢复合动作气缸的结构是一个气缸体内平行设置两个气缸，每个气缸内一个带大活塞P和一个小活塞Q的一根活塞杆固定连接，活塞杆伸出气缸体后与移动底座固定连接；大活塞P与气缸内壁滑配，小活塞Q与气缸内的一个内衬套内壁滑配；所述气缸的后端有进气口 B，后端有出气口 A贯穿汽缸壁和内衬套壁，小活塞Q上有节流孔。本专利技术的工作原理如下在该机构中，当炉门(9)处于图(I)所示状态时，固定在移动底座(11)上的气缸(I)使活塞杆(2 )向前运动，联轴器(3 )连接着活塞杆(2 )和轴(4 )，从而轴沿着活塞杆(2 )运动的方向向前移动，轴(4 )安装在叉形连接块(5 )上，故叉形连接块(5 )沿着活塞杆(3 )运动的方向移动，叉形连接块(5 )通过销(17 )与连杆(6 )连接着，叉形连接块(5)向前运动使销(17)沿着活塞杆(2)运动的方向移动，而连杆(6)的滑槽受到销(17)的作用力后使连杆(6)的一端绕移动底座(11)上的支撑座旋转，连杆(6)的另一端通过轴承(7 )与轴(8 )固定在炉门(9 )上，所以连杆(6 )旋转使炉门(9 )达到图(2 )所述的位置。快慢复合动作气缸(12)安装在固定板(15)上，快慢复合动作气缸(12)(如图(4)所示)的通气孔B通入气体推动活塞P和活塞杆(16)向前快速运动，快慢复合动作气缸(12)内部的气体直接从通气孔A排出；当另一个活塞Q与快慢复合动作气缸(12)的内衬套(18)接触后(如图(5)所示),快慢复合动作气缸(12)内部气体先从活塞Q上的溢流孔(19)通过，该溢流孔(19)孔径小，气体经过溢流孔(19)后，气体流量变小，所以此时活塞Q和活塞杆(16)缓慢向前运动,气体从通气孔A排出。快慢复合动作气缸(12)的活塞杆(16)推动移动底座(11)向前运动，移动底座(11)上安装着气缸(1)，气缸(I)的活塞杆(2)通过联轴器(3 )连接着轴(4)，轴(4)安装在叉形连接块(5 )上，叉形连接块(5 )通过销(17 )连接着连杆(6),连杆(6)的一端通过轴与轴承固定在移动底座(11)上，另一端通过轴承(7)和轴(8)连接着炉门(9)，从而活塞杆(16)向前运动使炉门先快速移动。当靠近石英管时再·缓慢靠近，这样能够提高炉门关闭的效率，最后达到图(3)所述的状态，整个过程起到了关闭炉门的效果。反之，最开始当炉门处于图(3)所述状态时，快慢复合动作气缸(12)安装在固定板(15)上，快慢复合动作气缸(12)(如图(5)所示)的通气孔A通入气体后，气体先从溢流孔(19)通过，该溢流孔(19)孔径小，故气体通过溢流孔(19)后流量变小，气体再推动活塞P缓慢移动，活塞P压缩气体从通气孔B排出，这时活塞P和活塞杆(16)缓慢运动，快慢复合动作气缸(12)的活塞杆(16)拉动底座(11)运动，移动底座(11)上安装着气缸(I)，气缸(I)的活塞杆(2 )通过联轴器(3 )连接着轴(4 )，轴(4 )安装在叉形连接块(5 )上，叉形连接块(5)通过销(17)连接着连杆(6)，连杆(6)的一端通过轴与轴承固定在移动底座(11)上，另一端通过轴承(7 )和轴(8 )连接着炉门(9 )，从而活塞杆(16)运动使炉门(9 )先缓慢与石英管(10)分开。接着当活塞Q与气缸(2)的内衬套(18)分离时，快慢复合动作气缸(12)(如图(4)所示)的通气孔A通入气体后，气体直接推动活塞P移动，活塞P压缩气体从通气孔B排出，这时活塞P和活塞杆(16)快速运动，拉动炉门(9)运动到如图(2)所示的状态。接着固定在移动底座(11)上的气缸(I)使活塞杆(2)反方向运动，联轴器(3)连接着活塞杆(2)和轴(4)，从而轴(4)沿着活塞杆(2)运动的方向移动，轴(4)安装在叉形连接块(5 )上，故叉形连接块(5 )沿着活塞杆(2 )运动的方向移动，叉形连接块(5 )通过销(17)与连杆(6)连接着，故销(17)沿着活塞杆(2)运动的方向移动，而连杆(6)的滑槽受到销(17)的作用力后使连杆(6)绕移动底座(11)上的支撑座旋转，连杆(6)的另一端通过轴承(7)与轴(8)固定在炉门(9)上，所以连杆(6)旋转使炉门(9)达到图(I)所述的位置，整个过程起到了打开炉门的效果。本专利技术与现有技术相比较，具有如下显而易见的突出实质性特点和显著技术进IK少:本专利技术的扩散炉炉门机构采用气缸驱动平行摇杆连杆使炉门快速摆动到炉口的正前方；然后由快慢复合动作气缸使炉门先快后慢闭合和先慢后快开启动作。本炉门机构，能达到炉门封闭时密封性好，动作安全可靠。本专利技术结构简单紧凑，易于操作。附图说明图I是机构三维立体图。图2是机构三维立体图。图3是机构三维立体图。图4是快慢复合动作气缸2的剖视图。图5是快慢复合动作气缸2的剖视图。具体实施例方式下面结合附图对本专利技术的优选实施例作详细说明 实施例一 参见图I-图5，一种具有快进慢进复合动作的扩散炉炉门机构，包括固定板(15)和炉门(9)，其特征在于所述炉门(9)通过两根平行的摇摆连杆(6)与一个移动底座(1本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种具有快进慢进复合动作的扩散炉炉门机构，包括固定板（15）和炉门（9），其特征在于：所述炉门（9）通过两根平行的摇摆连杆（6）与一个移动底座（11）摆动铰链，该移动底座（11）上装有一个气缸（1）经传动机构活动连接摇摆连杆（6），实现炉门（9）的快速摆动至炉门口前；所述移动底座（11）滑动安置在所述固定板(15)上，该固定板(15)上固定安装一个快进复合动作气缸(12)，该快慢复合动作气缸(12)有两个平行的活塞杆(16)与移动底座(11)固定连接，实现炉门(9)的先快后慢闭合和先慢后快开启。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：柯显信，刘杨，董运江，
申请(专利权)人：上海大学，
类型：发明
国别省市：
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