一种方便清理的滚轮外罩制造技术

本实用新型专利技术公开了一种方便清理的滚轮外罩，本实用新型专利技术包括顶板、凸出板、底罩、凸出底仓、和顶板上的滚轮导轨；顶板固定在底罩上，顶板与底罩之间的空腔中设置与转动轴相连的滚轮模块，顶盖上的滚轮导轨与滚轮模块相连；凸出板被设置成可以至少部分保护滚轮模块，以免受到沉积系统内的物质污染；凸出底仓被设置可以至少部分保护沉积系统，以免滚轮模块上的物质污染沉积系统；本实用新型专利技术相较于其他的外罩装置，结构简单，安装拆卸方便，使用者能够更加快速的对其进行维护和清理操作。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术属于传送沉积系统中的基材领域，尤其涉及一种方便清理的滚轮外罩。技术背景薄膜太阳电池可以用价格低廉的玻璃、塑料、陶瓷、石墨、金属片等不同材料做基板，又具有可挠性可以制作成非平面构造，可与建筑物结合或是变成建筑体的一部份，应用非常广泛。在薄膜太阳电池制造上，常在一CVD系统内进行基材上的薄膜层的制程。反应物进入制程区，待处理(例如涂层)的基板被置于热板上加热到合适沉积的温度环境。至少部分的化学反应生成物会沉积在基板上，残余物会通过排气设备排除制程区。在传送系统中，基板通过下方的滚轮组进行水平传送。当这些滚轮暴露在制程室里时，滚轮会被制程室内气体污染。当滚轮传送下一块基板时，下一块的基板背面会被滚轮污染。同时滚轮上的污染物堆积到一定量会容易脱落到制程室，影响制程反应效果。中国专利CN 201485502U公布了一种外罩装置，但其结构复杂，污染物堆积到一定量后需要繁琐的拆卸工作，清理起来十分不方便，耗费大量精力。因此，急需一种在改善制程效果的同时，结构合理、清理起来方便快捷的外罩装置。
技术实现思路
本技术的目的是针对上述提到的问题，提供一种方便清理的外罩装置，该外罩除了能够改善制程效果以外，结构简单、拆卸方便、便于清理和维护。本技术的技术方案是本技术包括顶板、凸出板、底罩、凸出底仓和顶板上的滚轮导轨；本技术的顶板固定在底罩上，顶板与底罩之间的空腔中设置与转动轴相连的滚轮，顶盖上的滚轮导轨与滚轮相连；凸出板连接在顶板的末端上方，凸出底仓连接在底罩的末端。所述顶板是长方体的。所述凸出板是长方体的，被设置成可以至少部分保护滚轮，以免受到沉积系统内的物质污染。所述凸出底仓被设置可以至少部分保护沉积系统，以免滚轮上的物质污染沉积系统。本技术有益效果如下本技术除了能够至少部分保护滚轮不受到沉积的影响，还至少部分保护沉积系统不被滚轮上的物质污染，有效的优化制程效果。同时本技术设计简单、结构合理、拆卸清理起来十分方便，使用起来节省大量精力。附图说明图I为滚轮组上传送基板的部分沉积系统的上视图。图2为本技术的传送基材侧视图。图3为本技术的立体结构侧视图。图中，顶板I、底罩2、凸出板3、凸出底仓4、滚轮5、滚轮导轨6、转动轴7、基板8。具体实施方式以下结合附图对本技术做进一步的详细说明。如图I所示为在复数个滚轮5上传递基板8的部分沉积系统。滚轮5在传动轴7促动下，从基板8较低表面的背端接触。如出现目标位置，基材支撑体中的支撑物(如加热板)会从较低位提起，从滚轮5上提起基板8。滚轮5会从基板8收回，以避免影响随后的处理步骤。当沉积过程结束后，滚轮5会返回原工作位置，通过降低基材支撑物将基板8置放回滚轮5上，并传送基材8。如图2显示更多细节，滚轮外罩包括顶板I、凸出板3、底罩2、凸出底仓4和顶板上的滚轮导轨6，顶板I固定在底2罩上，顶板I与底罩2之间的空腔中设置与转动轴7相连的滚轮5，顶盖I上的滚轮导轨6与滚轮5相连；凸出板3连接在顶板I的末端上方，凸出底仓4连接在底罩2的末端。基板8与安装在外罩内的滚轮5相接触，滚轮5转动可促使基板8的传动。在滚轮转动的过程中，部分滚轮上的物质会落在凸出底仓5内。如图3所示，当滚轮5从基材8处收回，沉积过程开始，沉积物质可部分落在凸出板3上，凸出板3可至少部分保护滚轮5。本技术由于设有凸出板和凸出底仓，在制程过程中能至少部分保护滚轮不受制程系统的污染，有效的优化了制程效果。同时本实验新型结构简单，平时正常清理时只需要用吸尘器对其进行清理即可，节省使用者的精力和时间。权利要求1.一种方便清理的滚轮外罩，包括顶板、凸出板、底罩、凸出底仓和顶板上的滚轮导轨；其特征在于 顶板固定在底罩上，顶板与底罩之间的空腔中设置与转动轴相连的滚轮模块，顶盖上的滚轮导轨与滚轮模块相连；凸出板被设置成可以至少部分保护滚轮，以免受到沉积系统内的物质污染；凸出底仓被设置可以至少部分保护沉积系统，以免滚轮上的物质污染沉积系统； 所述顶板是长方体的。2.根据权利要求I所述的滚轮外罩，其特征在于所述凸出底仓连接在底罩的末端。3.根据权利要求I所述的滚轮外罩，其特征在于所述凸出板是长方体的，连接在顶板的末端上方。专利摘要本技术公开了一种方便清理的滚轮外罩，本技术包括顶板、凸出板、底罩、凸出底仓、和顶板上的滚轮导轨；顶板固定在底罩上，顶板与底罩之间的空腔中设置与转动轴相连的滚轮模块，顶盖上的滚轮导轨与滚轮模块相连；凸出板被设置成可以至少部分保护滚轮模块，以免受到沉积系统内的物质污染；凸出底仓被设置可以至少部分保护沉积系统，以免滚轮模块上的物质污染沉积系统；本技术相较于其他的外罩装置，结构简单，安装拆卸方便，使用者能够更加快速的对其进行维护和清理操作。文档编号C23C16/56GK202705471SQ20122039884公开日2013年1月30日 申请日期2012年8月14日 优先权日2012年8月14日专利技术者不公告专利技术人 申请人:王煦丽本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种方便清理的滚轮外罩，包括顶板、凸出板、底罩、凸出底仓和顶板上的滚轮导轨；其特征在于：顶板固定在底罩上，顶板与底罩之间的空腔中设置与转动轴相连的滚轮模块，顶盖上的滚轮导轨与滚轮模块相连；凸出板被设置成可以至少部分保护滚轮，以免受到沉积系统内的物质污染；凸出底仓被设置可以至少部分保护沉积系统，以免滚轮上的物质污染沉积系统；所述顶板是长方体的。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：不公告发明人，
申请(专利权)人：王煦丽，
类型：实用新型
国别省市：