一种方便清理的滚轮外罩制造技术

本实用新型专利技术公开了一种方便清理的滚轮外罩，本实用新型专利技术包括顶板、凸出板、底罩、凸出底仓、和顶板上的滚轮导轨；顶板固定在底罩上，顶板与底罩之间的空腔中设置与转动轴相连的滚轮模块，顶盖上的滚轮导轨与滚轮模块相连；凸出板被设置成可以至少部分保护滚轮模块，以免受到沉积系统内的物质污染；凸出底仓被设置可以至少部分保护沉积系统，以免滚轮模块上的物质污染沉积系统；本实用新型专利技术相较于其他的外罩装置，结构简单，安装拆卸方便，使用者能够更加快速的对其进行维护和清理操作。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术属于传送沉积系统中的基材领域，尤其涉及一种方便清理的滚轮外罩。技术背景薄膜太阳电池可以用价格低廉的玻璃、塑料、陶瓷、石墨、金属片等不同材料做基板，又具有可挠性可以制作成非平面构造，可与建筑物结合或是变成建筑体的一部份，应用非常广泛。在薄膜太阳电池制造上，常在一CVD系统内进行基材上的薄膜层的制程。反应物进入制程区，待处理(例如涂层)的基板被置于热板上加热到合适沉积的温度环境。至少部分的化学反应生成物会沉积在基板上，残余物会通过排气设备排除制程区。在传送系统中，基板通过下方的滚轮组进行水平传送。当这些滚轮暴露在制程室里时，滚轮会被制程室内气体污染。当滚轮传送下一块基板时，下一块的基板背面会被滚轮污染。同时滚轮上的污染物堆积到一定量会容易脱落到制程室，影响制程反应效果。中国专利CN 201485502U公布了一种外罩装置，但其结构复杂，污染物堆积到一定量后需要繁琐的拆卸工作，清理起来十分不方便，耗费大量精力。因此，急需一种在改善制程效果的同时，结构合理、清理起来方便快捷的外罩装置。
技术实现思路
本技术的目的是针对上述提到的问题，提供一种方便清理的外罩装置，该外罩除了能够改善制程本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种方便清理的滚轮外罩，包括顶板、凸出板、底罩、凸出底仓和顶板上的滚轮导轨；其特征在于：顶板固定在底罩上，顶板与底罩之间的空腔中设置与转动轴相连的滚轮模块，顶盖上的滚轮导轨与滚轮模块相连；凸出板被设置成可以至少部分保护滚轮，以免受到沉积系统内的物质污染；凸出底仓被设置可以至少部分保护沉积系统，以免滚轮上的物质污染沉积系统；所述顶板是长方体的。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：不公告发明人，
申请(专利权)人：王煦丽，
类型：实用新型
国别省市：