【技术实现步骤摘要】
本专利技术是关于一种污水净化循环系统，尤指一种将半导体产业所产生的切割或研磨污水，以超滤膜净水系统结合离心装置的系统加以过滤净化，并且将前述过滤净化后的净水导入作为本专利技术主要净水来源的半导体产业的污水净化循环系统。
技术介绍
目前，在半导体的电子产业中，对于晶圆在切割及研磨的工艺中，需搭配纯水加以清洗，清洗后的纯水带有大量的固体微粒。为了达到回收再利用的目的，目前业界的处理方式及应用流程，常以超滤膜过滤器(UF)为主的净水回收系统过滤水中的固体杂质，达到固体和液体分离的效果，经透析后的净水依水质状况，再导入净水回收系统适当的回收点，以此达到回收再利用的目的。 上述公知净水回收系统仅以超滤膜过滤器作为污水透析的主要滤器，会受限于超滤膜过滤器去除效果及使用年限，必须有部分带着固体的浓缩水被排放，以避免净水回收系统内的固体杂质无限制地升高，造成超滤膜过滤器内部的滤膜严重阻塞无法正常透析滤水。纵观公知净水回收系统的效益，虽然可以达到部分净水回收再利用的目的，可是浓缩排放的污水仍然有造成下列的困扰之处I.浓缩排放后的污水，需再经过混凝、沉淀处理，以污水处理的角度来看，...
【技术保护点】
一种半导体产业的污水净化循环系统，其特征在于，该污水净化循环系统以超滤膜滤器为主要滤材，配合原水储槽、原水泵、清水储槽、逆洗泵、浓缩水储槽、离心供水泵及两个以上管路组成超滤膜净水回收系统，该超滤膜净水回收系统结合有一离心装置；该离心装置连结于所述离心供水泵，能接收来自所述浓缩水储槽的污水，将污水中固体微粒分离出来，前述分离出来的固体微粒以排渣方式排出，而所分离出来的液态水，再以所述超滤膜净水回收系统进行重复性的循环过滤作业，且经所述超滤膜净水回收系统透析后的清净水，可供作为加工工艺的清洗用水。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：廖芳基，
申请(专利权)人：彰化炼水股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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