一种轴向运动电热式微镜的自动测试系统技术方案

本实用新型专利技术公布了一种轴向运动电热式微镜的自动测试系统，包括测试光学系统和自动测试控制电路系统。一种轴向运动电热式微镜的自动测试方法，包括电热式微镜轴向位移与所加电压关系的测试和电热式微镜系统参数的标定方法。本实用新型专利技术首次将干涉方法使用在一维轴向运动电热式微镜的性能测试上；方法简单容易重复实现，可用于其他种轴向位移的微镜测试上；成本低，容易实现；光路元件较少，实现简单，实用性强，一次标定参数后，可针对同一版微镜使用；外围控制电路简单，容易重复实现；通过电脑与电路系统的通信，将数据上传至电脑软件进行计算，可自动输出采集计算后的数据及相关特征曲线。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种轴向运动电热式微镜的自动测试系统及测试方法，属于针对微机电系统的光学及电子电路设计领域。
技术介绍
微机电系统(Micro-electro-mechanicalsystems,简称 MEMS)是利用微加工技术制造出来的三维装置，至少包括一个可运动结构满足某种机械作用。MEMS器件由于借鉴了集成电路的工艺因此应用于很多不同的领域。本世纪越来越多的传感器和执行器都倾向于米用MEMS技术,其中微机电系统微镜就是其中一个绝佳的例证。微机电系统驱动结构产生的力很小，但足以驱动镜面使其发生偏转。在众多MEMS微镜中电热式微镜是一款依靠热形变使镜子偏转的微机电系统。电热式微镜系统主要包括镜面、支撑臂和驱动臂三个部分，其中驱动臂就是依靠电热效应产生形变驱动镜子偏转。如图I所示一维MEMS微镜具有两·个完全相同的驱动臂2，同时加载相同的信号，微镜镜面I就会发生轴向的位移运动。一维电热式微镜性能测试是一个十分重要的过程，需要利用外部光路及电路系统衡量系统本身的属性。其中微镜轴向位移与所加电压之间的关系，微镜晃动位移与加载电压的关系、微镜的延时特性及工作极限频率是一维电热式微镜的几个基本特本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种轴向运动电热式微镜的自动测试系统，其特征在于：其包括测试光学系统和自动测试控制电路系统；所述测试光学系统包括激光光源、第一分光镜、第二分光镜、参考镜、轴向运动电热式微镜装置、光电转换器PD和位置敏感传感器PSD；激光光源经过第一分光镜后分为两束激光，一束打到电热式微镜装置上，一束打到参考镜上；第一分光镜出射后到微镜的距离和到参考镜的距离大致相等；两束光分别再反射回第一分光镜并汇聚到第二分光镜上，第二分光镜将干涉光分成两束，一束打在位置敏感传感器PSD上，一束打在光电转换器PD上；所述自动测试控制电路系统包括中央处理器，输出数模转换模块，信号整形模块，信号采集模块和安全保护模块；中央处理器是...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：兰树明，谢会开，陈巧，傅霖来，周亮，丁金玲，王东琳，
申请(专利权)人：无锡微奥科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：