【技术实现步骤摘要】
本技术关于一种无尘室加湿系统，尤指一种调节湿度及节省能源的加湿系统。技术背景 现行科技厂的无尘室为了调节室内的温湿度，必须使用空调系统来进行调节，让室内的温湿度达到恒温，以免室内的温湿度差异过大，进而影响到制程设备的生产。而目前空调系统会使用外气空调箱，为了维持无尘室内的空气品质，需使用外气空调箱制造新鲜空气的无尘室内部，外气空调箱将外部空气引进后，进行过滤、除湿、升温、加湿、再微调温度，并反复此流程进行运作，而此流程为二十四小时反复运作，故在能源上相当耗能，而能源的耗能会导致电费相当可观，这对科技厂来说是一大负担。由图I中，可看出现有无尘室加湿系统，由一外气空调箱11将外部空气引进后，先经一第一过滤装置12将外部空气过滤，再经一预热装置13将空气加热，紧接着经由一降温装置14将加热后的空气所产生的蒸气进行降温动作，降温后的蒸气透过一除湿装置15将无尘室20内多余的湿气予以除湿，而除湿后所产生的气体，会透过一加湿装置16进行喷洒水幕喷雾，再经一风扇装置17将水幕喷雾予以分散后，会再经一回温装置18进行回温到常温，且由于无尘室20内会有大量制程排气及在无尘室2...
【技术保护点】
一种无尘室加湿系统，应用于一无尘室，其特征在于，包括：一外气空调箱，设置在该无尘室外部，以引进一外部空气；一第一过滤装置，对该外部空气进行过滤；一降温装置，对过滤后的空气进行一降温动作；一除湿装置，对降温后的空气内多余的水气进行一除湿动作；一风扇装置，使该除湿后的空气分散在该无尘室内；一第二过滤装置，对该无尘室内的除湿后的空气、制程排气及二氧化碳进行过滤，产生一清净空气并送至该无尘室内；多个区域，划分在该无尘室内；以及一加湿装置，对该等区域进行一加湿动作。
【技术特征摘要】
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。