【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体制造领域，更具体地说，本专利技术涉及一种软板区不等长设计的软硬结合板层压制作方法。
技术介绍
在软硬结合板工艺中，有时会遇到软板区不等长设计的情况。对于软板区不等长设计的软硬结合板，由于多张软板单片长度不一致，在压合过程受压作用下中间部分软板最长的区域会鼓起，同时在高温高压作用下图形会向两边挤压，导致软板区图形折伤，图形对位不良等问题。具体地说，有多张软板单片的软硬结合板，单方向弯折，若多张单片长度相等，当软板向同一个方向弯折时，由于板厚和层间间隙因素，不同软板的弯折半径不同，造成最外 层软板受到拉伸，最内层软板受到挤压，形成隆起和拉扯(如图I的Ml所示)，这种拉伸和挤压在软硬结合处会形成应力集中点，可能会造成机械应力损伤。为消除弯折后机械应力，将不同层软板设计成弯折区有长度梯度的结构(如图2的M2所示)，弯折后，不出现拉扯和挤压，也就消除了机械应力。软硬结合板软板区不等长设计，带来了后续层压过程制作的困难。层压过程是将多张不等长设计的软板单片、硬板单片以及半固化片组合在高温高压下通过半固化片的粘接作用形成一个整体。但是由于软板区长度不一致，...
【技术保护点】
一种不等长软硬结合板层压制作方法，其特征在于包括：将除最短软板单片之外的所有软板单片沿与长度方向垂直的方向裁开，并按长度方向，将其余软板单片的铆钉孔拉至与最短软板单片相同位置铆合；对外露软板区中间位置相应的硬板单片和压合辅料开窗；在压合时将硬板单片的开窗外围部分挤压固定住；准备衬板及缓冲材料，叠板时在缓冲材料上加衬板辅助，，在缓冲材料下布置软硬结合板，在软硬结合板下方布置缓冲材料；在衬板、缓冲材料和软硬结合板中间铣出一个框以露出外露软板区进行层压。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：吴小龙，穆敦发，吴梅珠，徐杰栋，刘秋华，胡广群，梁少文，陈文录，
申请(专利权)人：无锡江南计算技术研究所，
类型：发明
国别省市：
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