透射型样品振幅和相位成像装置和方法制造方法及图纸

一种透射型样品振幅和位相成像的装置和方法，通过移动扫描小孔光阑用其在一定距离处的衍射斑作为样品的照明光，并在小孔光阑在成像系统中的像面内用探测器其记录小孔光阑在不同位置时的衍射光斑，通过计算机进行迭代运算的方式获得样品的复振幅透过率函数，不仅能够获得振幅信息还能够实现相位成像。同时每一幅衍射图样不仅能够记录衍射斑光强分布，还能够通过相关性运算获得与之相对应的小孔光阑的实际位置，实现不依赖平移台精度的再现像重建，克服了平移台精度不足带来的误差。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及透射型样品的成像及相位测量，特别是一种不依赖于平移台精度的透射型样品振幅和相位成像的装置和方法。
技术介绍
相干衍射成像(Coherent Diffraction Imaging,简称为0)1)算法是一种直接从光场的散射斑强度中获得样品的位相信息的方法，是一种直接用迭代方法逐次逼近目标的‘重建’法，该方法1970年前后由Hoppe等人提出，后经Fienup等人的完善逐步发展起来(参见 J· R· Fienup. Phase retrieval algorithms: a comparison , Appl.Opt.，1982，21 (15) :2758 2769)。该方法是，在紧靠样品的后表面放置一个带孔的空间分布 已知的遮光屏，用相干光源照射物体并使物体只有一小部分的光透过概念小孔被相隔一定距离处的CXD记录。⑶I算法如下假设CXD所记录的光强为I，则相应的重建过程为(a)首先给样品一个任意的猜测值O(r);(b)利用菲涅尔衍射计算其经过小孔到达CXD时的复振幅分布G(X);(c)保持G(X)的位相不变，但用实际测量的光场I的平方根sqrt(I)振幅代替其幅值，得到本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种透射型振幅和位相成像装置，特征在于其构成包括相干光源(1)，沿该相干光源(1)的输出光束方向依次是光束空间滤波器(2)、准直透镜(3)、小孔光阑(4)、待测透射型样品(5)、透镜组(6)、探测器(8)，所述的小孔光阑(4)固定在所述的二维电动平移台(10)上，该小孔光阑(4)在所述的二维电动平移台(10)的驱动下在垂直于光束传播方向的平面内移动，在所述的透镜组(6)的小孔光阑(4)的像平面(7)设置所述的探测器(8)，该探测器(8)和二维电动平移台（10）与所述的计算机(9)相连；相干光源(1)发出的光经过光束空间滤波器(2)后变成点光源并经过所述的准直透镜(3)后变为平行光，经过小孔光阑...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：潘兴臣，刘诚，朱健强，
申请(专利权)人：中国科学院上海光学精密机械研究所，
类型：发明
国别省市：