针压检测电路以及使用该电路的点测系统技术方案

本实用新型专利技术涉及一种针压检测电路以及使用该电路的点测系统，该点测系统包含有一用于承载一待测物的升降载台，以及一针压检测电路。针压检测电路具有一包含有一升压元件以及一与升压元件并联的探针连接线路的针压检测单元，探针连接线路具有二接点，用于分别电性耦接用于点测待测物的二探针。通过撷取并判断针压检测单元的跨电压的数值来控制升降载台的动作，可使待测物接触或离开各探针，如此，可确保探针以适当的针压与待测物确实电性接触而进行测试作业。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术与用于点测芯片或光电零组件的点测系统有关，特别·是指一种可取代机械式寻边器来确保探针针压的针压检测电路，以及使用该针压检测电路的点测系统。
技术介绍
点测设备(prober)是一种利用探针(probe)来检测诸如发光二极管等半导体晶粒性能表现或特性参数的设备。在点测作业进行时，假使探针针压(probing force)过大，不但晶粒表面会因针痕过长影响外观检验质量，且可能会造成晶粒表面损伤，也容易造成探针磨损，而一旦针压过小，可能造成探针与晶粒接点接触不良，进而影响点测结果，因此，如何确保探针能以适当的针压抵接晶粒接点，一直是业者关注的议题。传统上，利用搭载在点测装置中的机械式寻边器(edge sensor)，例如在中国台湾第M345241、M382589等新型专利说明书中所揭示的各式各样的寻边器，可达到确保探针能确实接触并在待测晶粒的接点施加一定压抵力量的目的。一般而言，这些习用机械式寻边器的结构，大抵上包含有一基座、一与该基座之间通过一弹片弹性连接并可相对该基座摆动的摆臂，以及一可调预力施加器，其中，探针固定于该摆臂上，且该可调预力施加器为利用磁性吸力、磁性斥力或者弹簧回复力来施加一作用于该基座与该摆臂之间的预力，使该探针在未受力的状态下，二个分别设于该基座与该摆臂上的电性接点可以保持接触而电导通，而一旦探针接触并持续压抵待测晶粒的接点至前述预力被克服的程度时，该摆臂将相对该基座摆动使该二电性接点分离造成断路，因此，通过该可调预力施加器给予特定的预力，并在侦测到前述二电性接点断开时的关键点停止承载晶粒的升降载台上升，即可确保探针在点测作业时已经确实接触并在待测晶粒的接点上施加一特定压抵力量。上述机械式寻边器的缺点在于，连接在基座与摆臂之间的弹片在长期使用之下容易弹性疲乏，以致在进行点测作业中，往往需要频繁地调整施加的预力以校正针压；其次，二个分别设于基座与摆臂上的电性接点在长期使用之下容易碳化，不但必须清理保养，且清理完成之后还需要重新校正整个机械式寻边器，徒增作业时间；此外，由于传统的机械式寻边器具有相当的高度，在配合积分球(integrating sphere)进行点测作业时，因积分球的开口无法尽量贴近待测晶粒的发光区，以致容易影响其测量准确度。此外，中国台湾第M406740号新型专利公开了一种利用光学辨识技术来确认针尖位置的自动调整装置，然而，此自动调整装置是使用监视组件来撷取针尖影像，并辅助一发光元件照射针尖来提高监视组件的辨识率，因此并不适合用于利用积分球来检测光电组件的点测作业中，况且，利用光学辨识技术是否能确保探针每次都能以同样的、适当的针压抵触待测物的接点，实是有待商榷。
技术实现思路
针对上述问题，本技术的主要目的在于提供一种点测系统，其可避免上述习用技术的缺点。为达到上述目的，本技术所提供的一种点测系统，其特征在于包含有一升降载台，用于承载一待测物；一针压检测模块，具有一针压检测电路以及对应于所述待测物上方的一第一与一第二探针，所述针压检测电路具有一电源以及与所述电源电连接的一针压检测单元，所述针压检测单元包含有一升压元件以及与所述升压元件并联的一探针连接线路，所述探针连接线路具有一第一与一第二接点，用于分别电性耦接所述第一与第二探针；一升降控制器，与所述升降载台电连接，用于控制所述升降载台的动作，使待测物能与所述第一与第二探针接触而彼此电连接，或者使待测物能与所述第一与第二探针分离而彼此电性绝缘；一信号转换器，与所述针压检测电路电连接，以撷取所述针压检测单元的跨电压，并通过判断所述跨电压的数值使所述升降控制器控制所述升降载台的动作；一测试电路，用于电连接所述第一与第二探针。上述本技术的技术方案中，所述针压检测电路还包含有一与所述电源电连接并与所述针压检测单元串联的分压元件。所述分压元件的电阻值小于所述针压检测单元的升压元件的电阻值。 所述针压检测电路还包含有一第一开关以及一第二开关，所述第一开关用于使所述第一探针能切换地与所述探针连接线路的第一接点或所述测试电路的一第一接点电性耦接；所述第二开关用于使所述第二探针能切换地与所述探针连接线路的第二接点或所述测试电路的一第二接点电性耦接。还包含有一切换装置，用于当所述信号转换器所撷取的跨电压下降到达一预定的阈值时，将与所述探针连接电路的第一与第二接点分别电性耦接的第一与第二探针，切换至分别与所述测试电路的一第一接点与一第二接点电性耦接。所述切换装置包含有一第一开关，一端与所述第一探针电连接，另一端能切换至与所述探针连接线路的第一接点或所述测试电路的第一接点电连接；一第二开关，一端与所述第二探针电连接，另一端能切换至与所述探针连接线路的第二接点或所述测试电路的第二接点电连接。本技术的点测系统还提供了另一技术方案一种点测系统，其特征在于包含有一升降载台，用于承载一待测物；一针压检测模块，具有一针压检测电路以及对应于所述待测物上方的第一至第四探针，所述针压检测电路具有一电源以及与所述电源电连接的一第一与一第二针压检测单元，所述第一针压检测单元包含有一第一升压元件以及与所述第一升压元件并联的一第一探针连接线路，所述第一探针连接线路具有一第一与一第二接点，用于分别电性耦接所述第一与第二探针；所述第二针压检测单元包含有一第二升压元件以及与所述第二升压元件并联的一第二探针连接线路，所述第二探针连接线路具有一第三与一第四接点，用于分别电性耦接所述第三与第四探针；一升降控制器，与所述升降载台电连接，用于控制所述升降载台的动作，使待测物能与所述第一至第四探针接触而彼此电连接，或者使待测物能与所述第一至第四探针分离而彼此电性绝缘；一信号转换器，与所述针压检测电路电连接，用于撷取所述第一与第二针压检测单元的跨电压，并通过判断各所述跨电压的数值，使所述升降控制器控制所述升降载台的动作；一测试电路，用于电连接所述第一至四探针。其中，所述针压检测电路还包含有一与所述电源电连接并与所述第一针压检测单元串联的分压元件，以及一与所述电源电连接并与所述第二针压检测单元串联的另一分压元件。所述针压检测电路还包含有一第一至第四开关，其中所述第一开关用于使所述第一探针能切换地与所述第一探针连接线路的第一接点或所述测试电路的一第一接点电性耦接；所述第二开关用于以使所述第二探针能切换地与所述第一探针连接线路的第二接点或所述测试电路的另一第一接点电性耦接；所述第三开关用于使所述第三探针能切换地与所述第二探针连接线路的第三接点或所述测试电路的一第二接点电性耦接；所述第四开关用于使所述第四探针能切换地与所述第二探针连接线路的第四接点或所述测试电路的另一第二接点电性耦接。承载于所述升降载台的待测物为一芯片，所述芯片包含有二电性接点，所述第一与第二探针用于接触并电连接所述芯片的其中的一电性接点，所述第三与第四探针用于接触并电连接所述芯片的另一电性接点。所述第一至第四探针设置于一探针卡。再者，本技术的再一目的在于提供一种可取代习用的机械式寻边器的针压检测电路。为达到上述目的，本技术所提供的一种针压检测电路，其特征在于包含有一电源；一与所述电源电连接的针压检测单元，所述针压检测单元包含有一升压元件以及与所述升压元件并联的一探针连接线路，所述探针连本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种点测系统，其特征在于包含有：一升降载台，用于承载一待测物；一针压检测模块，具有一针压检测电路以及对应于所述待测物上方的一第一与一第二探针，所述针压检测电路具有一电源以及与所述电源电连接的一针压检测单元，所述针压检测单元包含有一升压元件以及与所述升压元件并联的一探针连接线路，所述探针连接线路具有一第一与一第二接点，用于分别电性耦接所述第一与第二探针；一升降控制器，与所述升降载台电连接，用于控制所述升降载台的动作，使待测物能与所述第一与第二探针接触而彼此电连接，或者使待测物能与所述第一与第二探针分离而彼此电性绝缘；一信号转换器，与所述针压检测电路电连接，以撷取所述针压检测单元的跨电压，并通过判断所述跨电压的数值使所述升降控制器控制所述升降载台的动作；一测试电路，用于电连接所述第一与第二探针。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：范维如，刘永钦，洪嘉宏，陈兴洲，
申请(专利权)人：旺矽科技股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：