基于人工表面等离极化激元的定向耦合器制造技术

本发明专利技术公开了一种基于人工表面等离极化激元的定向耦合器，包括输入端、隔离端、耦合端、直通端和耦合段，所述输入端、隔离端、耦合端、直通端和耦合段均由平面等离极化激元波导组成，所述平面等离极化激元波导由周期性排列的金属单元组成，所述金属单元上均设置有垂直于所述平面等离极化激元波导长度方向的凹槽，所述凹槽均位于所述平面等离极化激元波导的同侧。当电磁波从输入端激励时，入射电磁波会在器件表面形成表面波，经过中间耦合段的耦合后，不同波长的电磁波会按不同的比例在直通端和耦合端输出。可以使特定频段内不同波长的电磁波在不同端口输出，并且通过等比例放大或缩小尺寸就可以使其工作在任意频段内，具有很高的应用价值。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于人工表面等离极化激元领域，具体涉及ー种基于人工表面等离极化激兀的定向I禹合器。
技术介绍
基于表面等离极化激元(Surface Plasmon Polariton)的波导可以传导与传统光子电路相同大小带宽的电磁波，并且不受衍射极限的限制。这使得SPP器件在将来很可能实现光子与电子元器件在纳米尺度上的完美结合，因此广受学者关注。然而自然界的SPP仅存在于光波段，为了在较低频段(THz、GHz)实现SPP，人们提出了人工表面等离极化激元(Spoof Surface Plasmon Polariton)。SSPP是一种可以人工设计，通过改变结构參数，改变表面波色散曲线的新型材料。经过近几年的发展，SSPP得到了长足的发展，在器件设计上有着广泛的应用。定向耦合器是ー种通用的微波/毫米波部件，可用于信号的隔离、分离和混合，如功率的监测、源输出功率稳幅、信号源隔离、传输和反射的扫频测试等。主要技术指标有方向性、驻波比、耦合度、插入损耗。定向耦合器是微波系统中应用广泛的一种微波器件，它的本质是将微波信号按一定的比例进行功率分配。现有的定向耦合器由传输线构成，同轴线、矩形波导、圆波导本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基于人工表面等离极化激元的定向耦合器，包括输入端（1）、隔离端（2）、耦合端（3）、直通端（4）和耦合段（5），其特征在于，所述基于人工表面等离极化激元的定向耦合器为平面结构，所述输入端（1）、隔离端（2）、耦合端（3）、直通端（4）和耦合段（5）均由平面等离极化激元波导平面组成，所述平面等离极化激元波导由周期性排列的金属单元组成，所述金属单元上均设置有垂直于所述平面等离极化激元波导长度方向的凹槽，所述凹槽均位于所述平面等离极化激元波导的同侧，其中，所述输入端（1）、隔离端（2）、耦合端（3）和直通端（4）均由单个平面等离极化激元波导组成，所述耦合段（5）由并列设置的第一平面等离极化激元波...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：崔铁军，沈晓鹏，赵沛，杨艳，
申请(专利权)人：东南大学，
类型：发明
国别省市：