用于照度传感器的滤光器的制造方法技术

本发明专利技术包含玻璃的开孔工序（a）、具有滤波效果的玻璃小片（7）的振入工序（c）、玻璃小片（7）的软化工序（d）、研磨工序（e）。从而提供具有接近人的能见度特性的分光特性、检测精度高且能够以低成本制作的用于照度传感器的滤光器的制造方法。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及用于使用光电二极管等光检测元件的半导体照度传感器的滤光器(光学7 ^力夕一)的制造方法。为了在例如照明的自动点等控制或调光、液晶显示器的背光控制、便携电话的小键盘的 背光控制、在监视摄像机的暗视切换控制等领域中探测周围的照度，使用这种半导体照度传感器。另外，通过与发光元件组合，作为邻近传感器而用于物体的有无、距离的测定。
技术介绍
人的可见光是38(T780nm的光，其中44(T700nm左右是主要的感测波长区域。然而，即使是根据光的颜色(波长)而具有相同的功率的光，人也感到明或者暗。相对地示出人对每个该颜色强烈地感觉到的亮度的是相对能见度特性，在波长为50(T600nm的绿色附近具有峰值。在用于显示器件的背光控制的照度传感器等中，期望具有接近人的能见度特性的分光灵敏度特性。虽然将光电二极管用于检测可见光的强度的照度传感器，但光电二极管的分光灵敏度特性与人的能见度特性不同。因此，为了接近人的能见度特性，如专利文献1、2那样在光电二极管的表面设置滤光器或多层反射膜，或者如专利文献4、5那样使用灵敏度特性不同的光电二极管根据流动的电流的差进行运算并进行修正。另外，为了提高修正精度，在专利文献2、3中，设置有用于限制入射光的窗。现有技术文献 专利文献I :日本实开昭61 - 82230号公报 专利文献2 :日本特开2007 - 48795号公报 专利文献3 :日本特开2007 - 536728号公报 专利文献4 :日本特开2006 - 148014号公报 专利文献5 :日本特开2009 - 238944号公报。
技术实现思路
然而,在专利文献4、5所示的使用多个光电二极管的方法中，存在着使用多个光电二极管所导致的成本上升和修正精度不足的课题。在专利文献I所示的使用滤光器的方法中，将由电介质多层膜形成的干涉滤波器用作滤光器，所以成本进一步增加，另外，滤波特性根据光的入射角而变化，所以检测精度仍然不足。作为对策，在专利文献2、3中，提出了设置用于限制入射光的窗的方法，但不能避免用于制作窗的成本上升。本专利技术解决如以上那样的问题点，其目的在于，提供具有接近人的能见度特性的分光特性、检测精度高且能够以低成本制作的。为了达成上述目的，具备在玻璃板开孔的第一工序；在所述玻璃板的孔配置具有滤光效果且玻璃软化点比所述玻璃基体低的玻璃小片的第二工序；使所述玻璃小片在高温下软化的第三工序；以及研磨所述玻璃基体的两面而平坦化的第四工序。另外，所述孔为贯通孔。 另外，将成形法用于所述第一工序。另外,将喷砂(sand blast)法用于所述第一工序。另外，将玻璃蚀刻法用于所述第一工序。另外，所述玻璃小片具有珠(beads)形状。另外，在使所述玻璃小片在高温下软化的第三工序中，由板材夹着所述玻璃基体而施加压力。另外，在使所述玻璃小片在高温下软化的第三工序之后，添加由平坦的模具夹着所述玻璃基体而在高温下施加压力的工序。另外，所述玻璃基体的孔为具有阶梯差的锥台形状。另外，所述玻璃基体的孔为中央部的直径细的鼓形状。另外，所述玻璃板为具有遮光性的玻璃板。另外，所述玻璃板为黑色的玻璃板。另外，所述黑色的玻璃材料含有3 20%的黑色颜料。本专利技术的包含玻璃的开孔工序、玻璃小片的配置工序、玻璃小片的软化工序及研磨工序，由于全都是简便的制造工序，所以与现有的方式相比能够大幅降低制造成本。另外，通过选择具有接近能见度修正特性的滤波效果的玻璃作为玻璃小片，得到优异的修正特性，并且不像干涉滤波器那样滤波特性根据光的入射角而变化，而且由于设有限制入射光的窗，所以能够廉价地提供精度非常高的照度传感器。附图说明图I是示意性地示出使用利用本专利技术的制造方法的滤光器的照度传感器的构成的截面图及俯视图。图2是示意性地示出本专利技术的用于照度传感器的滤光器的制造工序的截面图。图3是示意性地示出使用本专利技术的滤光器的照度传感器的一部分的制造工序的截面图。图4是示意性地示出本专利技术的用于照度传感器的滤光器的制造工序的截面图。图5是示意性地示出本专利技术的用于照度传感器的滤光器的制造工序的截面图。图6是示意性地示出本专利技术的用于照度传感器的滤光器的不良示例的截面图。图7是示意性地示出本专利技术的用于照度传感器的滤光器的不良示例的截面图。图8是示意性地示出本专利技术的用于照度传感器的滤光器的制造工序的截面图。图9是示意性地示出本专利技术的用于照度传感器的滤光器的制造工序的截面图。图10是示意性地示出本专利技术的用于照度传感器的滤光器的制造工序的截面图。图11是示意性地示出本专利技术的用于照度传感器的滤光器的制造工序的截面图。图12是示意性地示出使用利用本专利技术的制造方法的滤光器的照度传感器的构成的截面图。附图标记说明 1、44照度传感器；2空腔基板；3贯通电极；4传感器元件；5布线电极；6滤光器基板；7、30具有滤波效果的玻璃小片；8安装电极；9外部电极；10、20玻璃板；11、17、23、28、33、36 上模具；12、19、25、29、34、39 下模具；13、15、16、18、22、31、32、37、38 凸部；14、26,35,40玻璃基体；21空腔基板；24凹部；27板材；41间隙；42电线；43黑色玻璃。具体实施例方式本专利技术的为，配合传感器元件而以玻璃板的既定位置及大小开孔，接着，加热具有滤光效果的玻璃小片并埋入，制作滤光器。具有该滤光效果的玻璃小片根据传感器元件的特性、照度传感器的用途而选择所使用的玻璃。另外，通过在研磨玻璃小片埋入后的玻璃基体的工序中控制玻璃基体的厚度，从而制作具有期望的滤光效果的滤光器。 具体而言，该具备开孔工序、配置工序、埋入工序及研磨工序。在开孔工序中，利用在表面具有凸部的模具来以玻璃的软化点以上的温度加热按压玻璃板而设置孔。或者，通过喷砂法、玻璃蚀刻法而设置孔。在配置工序中，将具有滤光效果的玻璃小片配置于玻璃基体的孔。在埋入工序中，进行加热以便成为玻璃小片的软化点与玻璃基体的软化点之间的温度，使玻璃小片软化而埋入孔。在研磨工序中，通过研磨将软化后的露出的玻璃小片平坦化，并且在前述孔为有底孔的情况下，研磨底面而使玻璃小片露出，而且将玻璃基体调整为既定厚度。以下，使用附图对本专利技术的发光器件的制造方法详细进行说明。 图2是示意性地示出本实施例的滤光器的制造工序的截面图。另外，图I是示意性地示出使用在本实施方式中制作的滤光器的照度传感器的构成的截面图及平面图。〈开孔工序〉 图2 (a)是示出开孔工序的截面图。将玻璃板10设置于在表面具有凸部13的上模具11与表面平坦的下模具12之间。接着，加热上模具11、下模具12及玻璃板10而使玻璃板10软化。在将钠玻璃用作玻璃板10的情况下，加热至约700°C、00°C。然后，沿箭头的方向按压上模具11及下模具12。由此，形成图2(b)所示的在中央具有孔的玻璃基体14。关于孔的形状，出于成形性、下一工序的配置工序的振入(振>9込A)性的容易度这点，期望为锥台形。作为其他方法，也可以使用将氧化铝等研磨剂喷至玻璃基板10而开孔的所谓的喷砂法。在该情况下，也能够形成开孔的玻璃基体14。另外，即使在玻璃基板10的表面除了孔部以外印刷抗蚀剂、在玻璃背面整个面涂敷抗蚀剂、接着浸溃于氟酸等玻璃蚀刻液而开孔、最后除去抗蚀剂本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于照度传感器的滤光器的制造方法，包括：在玻璃板形成孔的工序；在所述玻璃板的孔配置具有滤光效果且玻璃软化点比所述玻璃板低的玻璃小片的工序；使所述玻璃小片在高温下软化而填充至所述孔的工序；以及研磨所述玻璃板的工序。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：奥定夫，藤田宏之，塚越功二，林惠一郎，釜森均，樋口浩，
申请(专利权)人：精工电子有限公司，NSG精密股份有限公司，
类型：发明
国别省市：