【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及ー种超声扫描显微镜的扫描方式，特别涉及一种根据产品的目标扫描位置进行快速扫描的扫 描方式。
技术介绍
超声显微镜，是指利用样品声学性能的差别，用声成像的方法来生成高反差、高放大倍率的超声像的装置。有吸收式超声显微镜、激光扫描法超声显微镜和布格拉衍射成像法超声显微镜等。用于显示介质材料内部的微小结构，能观察材料内部与声学性质差别有关的结构。在微电子学上，利用反射式声镜，可对大規模集成电路不同层次进行非破坏性观察。而大规模集成电路往往体积比较小，在超声扫描显微镜的一次扫描中可扫描大批量的集成电路，但问题在于，通常需要扫描的目标位置只占整体的很小部分，也就是说只要扫描很小的部分即可完成检测任务。因此，目前的整体扫描的方式速度慢，效率低，极大地影响了产品的检测扫描效率。
技术实现思路
为解决现有超声扫描显微镜扫描大批量集成电路产品时速度慢，效率低的问题，本专利技术提供以下技术方案—种超声扫描显微镜的扫描方式，包括以下步骤A、将批量目标产品整齐排列于辅助托板中，根据目标产品的大小排成多行多列矩阵式，将辅助托板固定于超声扫描显微镜的检测槽中；B、确定产品扫描的基准...
【技术保护点】
一种超声扫描显微镜的扫描方式，其特征在于：该方法包括以下步骤：A、将批量目标产品整齐排列于辅助托板中，根据目标产品的大小排成多行多列矩阵式，将辅助托板固定于超声扫描显微镜的检测槽中；B、确定产品扫描的基准点；C、根据产品的尺寸和测试要求设定出超声显微镜的横向扫描范围和纵向移动间距等参数；D、对目标产品的目标位置依次进行扫描。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：刘学森，
申请(专利权)人：上海华碧检测技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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