真空电容器制造技术

本发明专利技术能在维持真空电容器的真空室中的真空状态的同时容易地调节真空电容器的电容。通过在真空室（1b）的轴向上以一定间距分层布置多个平板状电极元件（5）而形成固定电极（4）。通过在真空室（1b）的轴向上以一定间距分层布置多个平板状电极元件（8）并且将电极元件（8）固定到可动电极轴（9）而形成可动电极（7）。通过可动电极轴（9）的旋转，每个电极元件（8）以与固定电极（4）的电极元件（5）非接触的方式插入固定电极（4）的电极元件（5）之间的间隙以及从其抽出。磁通量接收部（106b）固定至设置于可动电极轴（9）处的盘元件（106a）的密封元件（102）侧。设置于电容控制单元（14）处的磁通量产生单元（104）相对于磁通量接收部（106b）沿平行于可动电极轴（9）的方向布置。通过使电容控制单元（14）旋转，从而在磁通量产生单元（104）的磁吸引力作用下也使磁通量接收部（106b）旋转，可动电极（7）相对于固定电极（4）的重叠面积被改变，从而能够调节电容。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及ー种应用于例如半导体制造系统中使用的高频供电电路中的真空电容器，并且涉及一种其中固定电极和可动电极布置于真空外壳中并且其电容值可变的可变型真空电容器。
技术介绍
很多真空电容器应用于例如半导体制造系统中使用的高频供电电路中。在将真空电容器按其结构宽泛地归类时，有两种类型的真空电容器电容值固定的固定型真空电容器以及电容值可变的可变型真空电容器(例如，专利文献广3 )。 作为可变型真空电容器的例子，已知ー种电容器，其中固定电极和可动电极布置于真空外壳中并且在通过使用波纹管等保持真空外壳中的真空状态的同时通过移动可动电极来使电容变化。作为真空外壳，提供由绝缘材料(比如陶瓷材料)制成的绝缘管本体以及由铜等材料制成的密封元件，并且绝缘管本体的每个开ロ端侧由所述密封元件封闭，从而形成真空外売。每个密封元件主要由设置于绝缘管本体的开ロ端侧处的管元件和封闭管元件的盖元件形成。固定电极由直径彼此不同并且同心地布置的多个基本上圆柱形电极元件所形成(例如，这些圆柱形电极元件以一定间距布置)。固定电极设置在真空外壳内密封元件之一(下文中，称为ー侧密封元件，并且另一个称为另ー侧密封元件)处。与本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2010.04.19 JP 2010-0957861.一种真空电容器，在该真空电容器中，在真空外壳中布置由多个电极兀件形成的固定电极并且由多个电极元件形成的可动电极布置在所述固定电极的所述电极元件之间形成的间隙中，并且通过使支撑所述可动电极的可动电极轴旋转而改变出现于所述可动电极和所述固定电极之间的真空电容器的电容，所述真空电容器包括 使所述可动电极轴在所述真空外壳中旋转的磁通量接收部； 在所述真空外壳的外部相对于所述磁通量接收部沿平行于所述可动电极轴的方向布置且通过磁吸引力使所述磁通量接收部旋转的磁通量产生单元；以及使所述磁通量产生单元旋转的电容控制单元。2.—种真空电容器，包括 通过由相应的密封元件封闭绝缘管本体的两个开口端侧而形成的真空外壳； 通过在所述真空外壳中沿所述真空外壳的轴向以一定间距分层布置多个平板状电极元件而形成的固定电极； 通过在所述真空外壳中沿所述真空外壳的轴向以一定间距分层布置多个平板状电极元件而形成的可动电极，该可动电极固定至沿所述真空外壳的轴向延伸且在所述真空外壳中被可旋转地支撑的可动电极轴，通过所述可动电极轴的旋转，所述可动电极的每个电极元...

【专利技术属性】
技术研发人员：高桥荣一，深井利真，巽敏规，锦织祐市，北寄崎薰，
申请(专利权)人：株式会社明电舍，
类型：
国别省市：