调准及抗飘移机制制造技术

一种系统包括一位移传感器、一致动器及一回馈单元。其中，位移传感器用以测量介于位移传感器及一待测对象之间的一相对位置及一相对方位的至少其中之一；致动器连接位移感应器与/或待测对象；回馈单元接收来从位移传感器的一信号，其与测量所得的相对位置或相对方位有关，其中回馈单元依据所接收的信号的一飘移，控制致动器去移动位移传感器，而飘移是基于一环境状态的改变而产生。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术是关于ー种具有调准及抗飘移机制的系统及方法。
技术介绍
多种量测方法，例如光杠杆(beam deflection)、像散侦测(astigmaticdetection)及电容测量(capacitance measurement)等方法，已经普遍的使用在待测对象于微米级及奈米级的位置或角度的測量。这些精密的位移測量系统很容易受到环境变化的影响，例如温度或湿度的变化，或者是系统内部构件的变化等环境变化。举例来说，光杠杆与像散侦测是使用光学测量的系统，其包括一光源(例如是ー激光)、透镜及光传感器。其中，当系统周围的温度或湿度改变时，则光源所发出光的波长可能随著变化。在位移系统中，由热源(例如是光源)所形成的热梯度(thermal gradient)及/或在系统构件中的应カ释放(stress relaxation)将造成在位移系统中不同构件的相对位置改变,而使得侦测信号产生飘移。此外，当周围温度或湿度改变时，将造成在电路中的信号改变，例如是在系统中的位移传感器的电路。另外，仪器的热容(heat capacity)可以造成与温度有关飘移的时间延迟。一般而言，当在位移測量系统中的构件越本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】所限定的范围内。权利要求1.一种系统，包括 一位移传感器，用以测量介于所述位移传感器及一待测物件之间的一相对位置及一相对方位的至少其中之一； 一致动器，连接所述位移感应器及/或待测物件；以及 一回馈单元，接收来从所述位移传感器的一信号，其与测量所得的所述相对位置或所述相对方位有关，其中所述回馈单元依据所接收的所述信号的一飘移，控制所述致动器去移动所述位移传感器，而所述飘移是基于一环境状态的改变而产生。2.根据权利要求I所述的系统，其中，所述环境状态的改变包括一温度的改变及一湿度的改变的至少其中之一。3.根据权利要求2所述的系统，其中，所述环境状态的改变包括一局部温度的改变。4.根据权利要求I所述的系统，其中，所接收的所述信号的所述飘移还从所述系统中的一机械应力释放所产生。5.根据权利要求I所述的系统，其中，所述回馈单元依据所接收的所述信号的低频飘移，控制所述致动器。6.根据权利要求5所述的系统，其中，所述低频飘移的频率是低于1Hz。7.根据权利要求6所述的系统，其中，所述低频飘移的频率是介于低于IHz及IOOmHz之间。8.根据权利要求I所述的系统，其中，所述位移传感器包括一对焦传感器。9. 一光传感器；及 一物镜，其中所述物镜位于所述待测物件及所述光传感器之间。10.根据权利要求9所述的系统，其中，所述致动器与所述物镜连接，且所述回馈单元控制所述致动器去移动所述物镜。11.根据权利要求I所述的系统，其中，所述致动器包括压电陶瓷致动器。12.根据权利要求I所述的系统，其中，所述致动器包括一音圈马达。13.根据权利要求I所述的系统，其中，所述致动器包括一阻尼材料。14.根据权利要求13所述的系统，其中，所述阻尼材料系用以减少所述致动器的共振振幅及品质因子。15.根据权利要求13所述的系统，其中，所述阻尼材料系用以改变所述致动器的共振频率。16.根据权利要求I所述的系统，其中，所述回...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄英硕，胡恩德，汉斯·乌尔利·丹佐布林克，哈德莫·I，
申请(专利权)人：梁启铭，
类型：
国别省市：