一种新型高精度外差激光测振仪制造技术

本实用新型专利技术公开了一种外差激光测振仪，其包括光学部件，适于利用激光来生成干涉光，其中干涉光具有与由于多普勒效应而导致的第一频移和参考光被频移的第二频率值相关的频率分量；光电转换器，配置为将干涉光转换为电测量信号；混频器，被配置为将电测量信号与具有第三频率的外部振荡信号进行混频以获得混频信号；数字转换器，被配置为将所述混频信号转换为数字信号；数字运算单元，被配置为对所述数字信号进行数字运算以获得有关被测对象的振动信息；鉴频器，其耦接到数字转换器，从而从数字信号中鉴别出第一频移，而外部振荡信号基于鉴频器所鉴别出的第一频移而生成。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及激光干涉测量领域，尤其涉及利用多普勒原理来测量被测对象的运动信息的外差激光测振仪。
技术介绍
目前，外差激光测振仪广泛应用于针对运动物体的测量，尤其是应用于振动测量领域中。外差激光测振仪一般利用多普勒原理进行测量。图I示出了根据现有技术的外差激光测振仪100的示意图。如图I所示，外差激光测振仪100在整体上可以分为两个部分，即光学部件部分110和信号处理部分120。一般而言，光学部件部分110包括对被测物体130进行测量所需的光学部件，并输出测量所获得的电信号来由信号处理部分120来进行信号处理，以获得有关被测物体130的各种运动信息，尤其是振动信息。具体而言，在光学部件部分110中，激光源1110发射的光被偏振分光镜1120分为参考光和测量光。测量光通过聚焦透镜组1130而聚焦在被测物体130上，当被测物体130运动时，会产生一个频移Af。为了确定被测物体130的振动方向，在参考光的光路中使用由晶振单元1140生成的频率为fd的晶振信号来驱动声光调制器1150(例如为布拉格盒)来对参考光进行移频。从被测物体130返回的测量光在偏振分光镜1160处与带有频率偏移量fd的参本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种外差激光测振仪，其特征在于包括:激光源，被配置为生成激光束；光学组件，被配置为将所生成的激光束分为参考光和测量光，将测量光投射到被测对象上并接收从被测对象反射的、具有第一频移的测量光，将参考光频移达第二频率值，随后对从被测对象反射的测量光和频移了的参考光进行干涉以生成干涉光；光电转换器，被配置为将所述干涉光转换为电测量信号；混频器，耦接到所述光电转换器并被配置为将所述电测量信号与具有第三频率的外部振荡信号进行混频以获得混频信号；数字转换器，耦接到所述混频器并被配置为将所述混频信号转换为数字信号；以及数字运算单元，耦接到所述数字转换器并被配置为对所述数字信号进行数字运算以获得有关被测对象的振...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：刘爱东，于梅，杨丽峰，左爱斌，马明德，
申请(专利权)人：中国计量科学研究院，
类型：实用新型
国别省市：