【技术实现步骤摘要】
本技术涉及机械设计
，特别涉及一种可扩展的反应腔室。
技术介绍
现有技术中的批处理原子层沉积(Atomic layer deposition, ALD)反应腔室包括内外两层腔室。外腔室为常压腔，其内壁设有加热元件，用 于对整个外腔进行加热，从而加热内腔室及置于其内的基板。内腔室位于外腔室的腔内，与外腔室固定连接。内腔室为低压腔，其包含工艺气体管道和真空元件，分别用于在内腔室内对基板进行ALD反应及保证内腔室的低压环境。这种腔室结构一旦内外腔室的尺寸确定，单次所能加工的基板数量也随之确定。若要在此基础上继续提高生产率，就要重新设计反应腔室的尺寸，另做一套腔室。这样不仅增长了设计时间和新设备的开发周期，同时也限制了设备生产率的提高。
技术实现思路
(一 )要解决的技术问题本技术要解决的技术问题是如何使反应腔室能够扩展，实现在不需重新设计反应腔室的情况下，提高设备生产率。( 二 )技术方案为解决上述技术问题，本技术提供了一种可扩展的反应腔室，所述反应腔室包括前门板和后门板，所述前门板和后门板之间设有至少一个模块化腔室。优选地，所述模块化腔室为内部设有空腔的腔体，所述腔体...
【技术保护点】
一种可扩展的反应腔室，其特征在于，所述反应腔室包括：前门板和后门板，所述前门板和后门板之间设有至少一个模块化腔室。
【技术特征摘要】
1.ー种可扩展的反应腔室，其特征在于，所述反应腔室包括前门板和后门板，所述前门板和后门板之间设有至少ー个模块化腔室。2.如权利要求I所述的反应腔室，其特征在于，所述模块化腔室为内部设有空腔的腔体，所述腔体两端均设有第一法兰。3.如权利要求2所述的反应腔室，其特征在于，所述反应腔室具有一个模块化腔室，所述前门板和后门板上均设有第二法兰，所述前门板和后门板分别与模块化腔室的开ロ通过第一法兰和第二法兰进行可拆式连接。4.如权利要求3所述的反应腔室，其特征在于，所述第一法兰和第二法兰之间通过螺栓和螺母实现可拆式连接。5.如权利要求3所述的反应腔室，其特征在干，所述第一法兰和第二法兰上均设有凸块，所述第一法兰和第二法兰之间通过爪形夹钳卡夹所述凸块来进行可拆式连接。6.如权利要求2所述的反应腔室，其特征在干，所述反应腔室具有至少两个模块化腔室，所述前门板和后门板上均设有第...
【专利技术属性】
技术研发人员：彭文芳，李春雷，常青，克雷格·伯考，
申请(专利权)人：北京七星华创电子股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。