未脱气液体的过滤方法技术

本发明专利技术提供可实现过滤器的长寿命化和高过滤效率的过滤方法、以及通过该方法制造的研磨用浆料。在本发明专利技术的过滤方法中，在利用过滤器过滤未脱气液体之前，对过滤器通入已脱气的溶剂，然后进行过滤。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及各种，尤其是涉及包含研磨材料等微粒作为分散质的研磨用浆料的过滤方法。
技术介绍
在使用研磨用浆料和研磨垫的抛光加工中，对加工面的表面平滑度和无缺陷性的要求水准逐年增加。随之，逐渐开始选择研磨用浆料所包含的研磨材料等微粒的粒径更小的研磨用浆料。此处，即使选择平均粒径小的研磨材料，通常研磨材料等微粒的粒径存在粒度分布，有时也会包含相对于期望粒径而言非常大的粗大颗粒。在这种情况下，该粗大颗粒可能会引起刮痕等表面缺陷，因此优选将其去除。这种在液体介质中分散有微粒的研磨用浆料所包含的粗大颗粒通常利用过滤器 去除。工业上使用的过滤器一般为将树脂制纤维缠绕在核上而成型的过滤器、使树脂膜中形成微小的细孔而成的过滤器。任一种过滤器均可通过使液体通过纤维间形成的间隙、膜中形成的细孔来去除无法通过的粗大颗粒等。但是，实际上要对液体进行过滤时，若要直接利用市售的过滤器，则刚开始利用后的过滤效率不高。考虑这是因为市售的过滤器通常是干燥的，过滤刚开始后，液体难以渗透过滤器的细孔等，此外细孔内容易残存空气。尤其是，与不具有粘性的液体相比，具有粘性的液体存在过滤刚开始后的过滤效率极差的倾向。因此作为前处理，也可考虑向过滤器压入水，通过这种方法水渗透至细孔内之后过滤变得容易，但有时根据过滤器的材质、孔径而需要较大压力，根据情况有时还需要大于过滤器的破坏压力的压力。进而，为了获得这种高压而需要强力的泵。另外，通常过滤器的孔径存在孔径分布，还存在非常小的细孔，因此即使施加压力，水也难以渗透至这种小细孔中。像这样水未渗透的部分由于对于过滤没有助益，因此过滤效率进一步变低。进而，由于有助于过滤的部分变少，因此过滤器发生堵塞也变早，有时还会招致生产率的恶化。在研磨用浆料之类的具有粘性的液体中，具有这种现象更显著的倾向。因此，在利用过滤器过滤液体的情况下，优选的是，在使用过滤器之前将细孔内部全部润湿，尽可能地去除过滤器内的空气。从这种观点出发，研究了过滤前的各种前处理方法。例如已知有以下方法用与过滤器和水两者均具有亲和性的异丙醇(以下有时称为IPA)等有机溶剂润湿过滤器，然后再过滤水的方法。另外，还公开了向疏水性多孔中空纤维膜加压导入表面活性剂水溶液等的方法(专利文献I)。但是，这些方法中，在处理后IPA、表面活性剂等存留于过滤器细孔内，因此为了去除它们而必须用大量的水等清洗液进行充分地清洗，在成本、效率方面存在问题。另一方面，公开了将疏水性多孔膜浸溃于脱气水的方法(专利文献2)，但根据本专利技术人等的研究得知，仅将过滤器浸溃于脱气水时无法获得充分的效果，作为前处理还存在改良的余地。现有技术文献专利文献专利文献I :日本特开平1-119310号公报专利文献2 :日本特开平5-208121号公报专利文献3 :日本特开昭63-258605号公报
技术实现思路
专利技术要解决的问题因此，本专利技术的目的在于提供一种可满足过滤效率的改良和过滤器的长寿命化的、各种。用于解决问题的方案 本专利技术的的特征在于，其为利用过滤器过滤，所述方法包括在用所述过滤器过滤所述未脱气液体之前对所述过滤器通入脱气液体，所述脱气液体是对与作为所述未脱气液体的主要成分的溶剂相同种类的溶剂进行脱气而成的。专利技术的效果根据本专利技术，通过改善过滤器刚开始使用后或过滤器刚更换后的过滤效率，进而减少对于过滤器的过滤没有助益的部分，来改良长期的过滤效率，进而使堵塞不易发生，从而可以满足过滤器的长寿命化，即过滤器更换间隔的长期化或过滤器通液量的增加。其结果，过滤工序的效率化和成本降低均可实现。由此，能够以高效率且低成本制造例如包含研磨粒作为分散质的研磨用浆料。具体实施例方式以下，说明本专利技术的一个实施方式。作为过滤对象的未脱气液体在本专利技术的过滤方法中，作为进行过滤的对象的液体，只要是未进行脱气处理的液体则无特别限定。在本专利技术中，将这样的液体称为未脱气液体。即，按照未脱气液体所包含的成分以及应该从该未脱气液体中去除的成分来选择后述的过滤器，从而可以对任意未脱气液体适用本专利技术的过滤方法。尤其是，从溶剂中分散有不溶的微粒成分的分散液或分散物中去除杂质、粗大颗粒等时，可以适合地使用本专利技术的过滤方法。此处所述的分散有不溶的微粒成分的分散液或分散物是指例如显示丁达尔现象的胶体溶液、浆料溶液，研磨用浆料、颜料分散型光致抗蚀剂、饮料、药品、涂料或化妆品等属于该范畴。通常，在这些制品的制造工序中，为了去除前述粗大颗粒或杂质而利用过滤器进行过滤，但由于短时间内的堵塞、干燥而需要频繁地更换过滤器，因此强烈要求提高过滤效率。将本专利技术的过滤方法适用于这样的胶体、浆料溶液时，可以提高过滤效率并可延长过滤器寿命，因此是优选的。即，优选的是，出于以下目的而使用本专利技术的方法使溶剂或分散介质以及分散于未脱气液体的颗粒中的、具有期望粒径的颗粒通过，而去除大于期望范围的颗粒、其它相对较大的杂质成分。可以使用本专利技术的过滤方法进行过滤的未脱气液体的具体实例之一，为研磨用浆料。研磨用浆料是用于研磨例如硅基板、碳化硅基板、金属氧化物、半导体设备基板、硬盘用基板、玻璃或塑料等的浆料。该研磨用浆料是分散介质中包含氧化物、氮化物、碳化物等的物质，更具体而言，包含氧化铝、二氧化硅、氧化铈、二氧化钛、氧化锆、金刚石、氮化硅、氮化硼等研磨材料颗粒。本专利技术的过滤方法优选用于从这样的研磨用浆料中去除原料所包含的粗大颗粒等杂质和配制时提纯的凝结物、异物。使用本专利技术的过滤方法过滤研磨用浆料等包含微粒的分散液时，分散液所包含的微粒的平均粒径优选为l(T5000nm，更优选为2(T300nm。需要说明的是，本专利技术中的平均粒径在无特别说明的情况下是指通过BET法测定的粒径。需要说明的是，平均粒径的测定方法另外还有光散射法、激光衍射法等，但通过这些方法测定的平均粒径难以与通过BET法测定的粒径直接进行比较。考虑测定方法的原理等，有时也可将通过BET法以外的方法测定的平均粒径换算成通过BET法测定的平均粒径，但原则上优选直接通过BET法测定。另外，本专利技术的过滤方法不仅可以适用于研磨用浆料本身，还可以适用于其原料。即，为了从作为研磨用浆料的原料的包含研磨材料颗粒的分散液中去除粗大颗粒、凝胶、异物等，可以使用本专利技术的过滤方法。或者为了去除除此以外的、各种添加剂溶液中包含的未溶解物、异物等，也可以使用本专利技术的过滤方法。 对通过本专利技术的过滤方法过滤未脱气液体的时期没有特别限定。例如，在将研磨用浆料填充至容器中而进行销售的情况下，不仅在将研磨用浆料以制品的形式填充至容器之前进行过滤时，可以使用本专利技术的方法；另外，用户从容器中取出研磨用浆料而用于研磨之前，也可以使用本专利技术的方法。进而，在将使用过一次的研磨用浆料再生而再利用的情况下，也可以使用本专利技术的过滤方法。过滤方法本专利技术的过滤方法包括使用过滤器过滤前述未脱气液体。此处，本专利技术的过滤方法中，优选使用树脂制或玻璃纤维制介质过滤器(media filter)。树脂制或玻璃纤维制介质过滤器是指未脱气液体要通过的过滤器部分由树脂或玻璃纤维构成的过滤器。此处，过滤器部分不需要全部由树脂或玻璃纤维构成，例如为了改良过滤器的机械强度，还可以包含纤维、金属等来作为芯材。其中，即使在这种情况下，也优选通过树脂或玻璃纤维包覆芯材，从而使其不与要过滤本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：森永均，杉山博保，三轮直也，
申请(专利权)人：福吉米株式会社，
类型：
国别省市：