一种刻蚀下喷淋系统技术方案

技术编号:8090174 阅读:258 留言:0更新日期:2012-12-15 00:05
本实用新型专利技术提供了一种生产效率高、避免过程损失的刻蚀下喷淋系统,包括传送机构,安装在传送机构上端的上喷淋机构,所述传送机构下端设有下喷淋机构,所述上喷淋机构和下喷淋机构上设有压力调节器。本实用新型专利技术的刻蚀下喷淋系统在制作双面图形时,可通过一次刻蚀实现,显著提高了生产效率;在制作双面图形时不需要在剥离段之前手动收集基板,避免过程损失;在刻蚀单面图形时还可以去除背面绕射。(*该技术在2022年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种刻蚀加工设备,尤其是一种刻蚀下喷淋系统
技术介绍
现有的刻蚀下喷淋系统在刻蚀线蚀刻段只有上喷淋机构,对于正反面都需要蚀刻图形的产品,需要刻蚀两次才能完成;而且刻蚀第一次后必须在剥离段之前动手收集。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种生产效率高、避免过程损失的刻蚀下喷淋系统。实现本技术目的的刻蚀下喷淋系统,包括传送机构,安装在传送机构上端的上喷淋机构,所述传送机构下端设有下喷淋机构,所述上喷淋机构和下喷淋机构上设有压力调节器。本技术的有益效果如下本技术的刻蚀下喷淋系统,在制作双面图形时可通过一次刻蚀实现,提高了生产效率;在制作双面图形时不需要在剥离段之前手动收集基板,能避免过程损失;在刻蚀单面图形时还可以去除背面绕射。附图说明图I为本技术的刻蚀下喷淋系统的结构示意图。具体实施方式本技术的实施例如下如图I所示,本技术的刻蚀下喷淋系统,包括传送机构1,安装在传送机构I上端的上喷淋机构2,所述传送机构I下端设有下喷淋机构3,所述上喷淋机构2和下喷淋机构3上设有压力调节器4。本技术的刻蚀下喷淋系统,在制作双面图形时,可通过一次刻蚀实现,提高了生产效率;在制作双面图形时,不需要在剥离段之前手动收集基板,避免了过程损失;在刻蚀单面图形时还可以去除背面绕射。上面所述的实施例仅仅是对本技术的优选实施方式进行描述,并非对本技术的范围进行限定,在不脱离本技术设计精神前提下,本领域普通工程技术人员对本技术技术方案做出的各种变形和改进,均应落入本技术的权利要求书确定的保护范围内。权利要求1.一种刻蚀下喷淋系统,其特征在于包括传送机构,安装在传送机构上端的上喷淋机构,所述传送机构下端设有下喷淋机构,所述上喷淋机构和下喷淋机构上设有压力调节器。专利摘要本技术提供了一种生产效率高、避免过程损失的刻蚀下喷淋系统,包括传送机构,安装在传送机构上端的上喷淋机构,所述传送机构下端设有下喷淋机构,所述上喷淋机构和下喷淋机构上设有压力调节器。本技术的刻蚀下喷淋系统在制作双面图形时,可通过一次刻蚀实现,显著提高了生产效率;在制作双面图形时不需要在剥离段之前手动收集基板,避免过程损失;在刻蚀单面图形时还可以去除背面绕射。文档编号C23F1/08GK202595278SQ20122025524公开日2012年12月12日 申请日期2012年5月24日 优先权日2012年5月24日专利技术者张学文, 张高中, 王金科, 戴毅, 吴松 申请人:湖南普照爱伯乐平板显示器件有限公司, 湖南电子信息产业集团有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种刻蚀下喷淋系统,其特征在于:包括传送机构,安装在传送机构上端的上喷淋机构,所述传送机构下端设有下喷淋机构,所述上喷淋机构和下喷淋机构上设有压力调节器。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:张学文张高中王金科戴毅吴松
申请(专利权)人:湖南普照爱伯乐平板显示器件有限公司湖南电子信息产业集团有限公司
类型:实用新型
国别省市:

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