旋转式石英坩埚蚀刻清洗设备制造技术

一种旋转式石英坩埚蚀刻清洗设备，涉及一种工业清洗设备，由中心工作台、机座、转盘和清洗工作台组成，中心工作台上设置机座，机座连接转盘。清洗工作台环绕转盘置放。机座设有电机连接变速装置，变速装置连接中心主轴旋转，转盘连接侧视呈“Z”字形托架，转盘连接托架作360°旋转，托架位置与清洗工作台位置相对应。清洗工作台设有高压水喷淋装置和液体喷淋装置，高压水喷淋、氢氟酸、纯净水三道清洗工序连续作业，显著提高石英坩埚清洗质量和工作效率。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种旋转式石英坩埚蚀刻清洗设备，由中心工作台、机座、转盘和清洗工作台组成，所述中心工作台上设置机座，所述机座连接转盘；所述清洗工作台环绕转盘置放；其特征在于，所述机座设有电机连接变速装置，所述变速装置连接中心主轴旋转；所述转盘连接侧视呈“Z”字形托架，所述托架位置与清洗工作台位置相对应；所述清洗工作台设有高压水喷淋装置和液体喷淋装置。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：王向阳，加藤孝一，
申请(专利权)人：上海东朋科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：