气体传感器制造技术

本发明专利技术提供一种用于检测挥发性有机化合物或氧化性气体的气体传感器，其中，检测一金属有机骨架的逸出功作为传感器信号。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及ー种化学气体传感器。
技术介绍
挥发性有机化合物(VOC)的检测或測量在很多应用领域具有重要意义。例如室内空气品质评估，空调系统节能控制，医疗诊断，以及如炸药检测或者浄化空气监测的安全技木。但问题是，挥发性有机化合物的分子种类繁多。值得ー提的有醛、醇、胺、羧酸、酷、酮、烃类、萜类、硫醇等等。这样的多祥性使得人们很难专利技术出一种能为大部分挥发性有机化合物提供足够高感测信号的传感器。气味通常由多种化合物组成，而这些化合物的含量往往又极低。挥发性有机化合物的嗅觉阈值一般都比较低，以至于人类能明显嗅到的浓度在技术上很难检测出来。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种用于检测至少ー种挥发性有机化合物或至少ー种氧化性气体的装置，这种装置能检出较低含量的挥发性有机化合物或氧化性气体。本专利技术用以达成上述目的的解决方案为ー种具有权利要求I所述特征的装置。从属权利要求涉及的是本专利技术的有利设计方案。本专利技术的装置包括ー检测材料，在与一挥发性有机化合物或ー氧化性气体相互作用时，所述检测材料的电子逸出功发生变化。所述检测材料是ー选自金属有机骨架(MOF)群组的材料。此外，所述装置本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于检测至少一种挥发性有机化合物或至少一种氧化性气体(5)的装置，包括：一检测材料(4)，在与所述挥发性有机化合物或所述氧化性气体(5)相互作用时，所述检测材料的电子逸出功发生变化，用于检测所述检测材料的电子逸出功变化的构件，其特征在于，所述检测材料包括一选自金属有机骨架群组的材料。

【技术特征摘要】
2011.05.06 DE 102011075396.61.一种用于检测至少ー种挥发性有机化合物或至少ー种氧化性气体(5)的装置，包括 ー检测材料(4)，在与所述挥发性有机化合物或所述氧化性气体(5)相互作用时，所述检测材料的电子逸出功发生变化， 用于检测所述检测材料的电子逸出功变化的构件， 其特征在于，所述检测材料包括ー选自金属有机骨架群组的材料。2.根据权利要求I所述的装置，其中，所述用于检测电子逸出功变化的构件包括ー场效应晶体管结构。3.根据权利要求I或2所述的装置，其中，所述检测材料(4)设置在所述场效应晶体管结构的栅极区域。4.根据上述权利要求中任一项权利要求所述的装置，其中，所述场效应晶体管...

【专利技术属性】
技术研发人员：科斯廷·威斯纳，马克西米利安·弗莱舍尔，罗兰·波勒，奥利弗·冯西卡尔，
申请(专利权)人：西门子公司，
类型：发明
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