本发明专利技术提供作业性优良、对设置场所、作业对象没有限制的能够提供优良清洁空气空间的局部洁净区形成装置。该局部洁净区形成装置的结构为：将用于形成等速空气流的整流机构内设在空气吹出面内而形成的一对吹风罩配置为相互的该空气吹出面之间平行且该空气吹出面的中心之间不是正对关系，并且由该吹风罩吹出的等速空气流之间相对而冲突，同时，将该等速空气流在相对于该空气吹出面的斜向上以角度而吹出。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及在作业领域中形成清洁空气空间的局部洁净区形成装置。
技术介绍
近年来，在IC芯片的制造等半导体制造、平板显示器等的液晶部件制造、手机、数码相机等光学部件制造等为首的闻功能化的精密机器的制造现场，或者化学、医药品等处理制造、检查、研究等现场中，由于尘埃、环境微生物等的混入会对制品的品质、研究结果产生很大影响，因此，对这些现场的作业空间的净化的要求在扩大。对于这样的要求，一般是仅对必须进行净化的一部分的作业空间进行局部性净 化的方式，作为这样的代表性的洁净区形成技术，净化工作台方式是代表性的。该净化工作台方式，只在作业台的近前面设置作业用的开口部，其他的面，为了保持清洁度，包括天井在内的围挡将周围包围起来。结构为在该围挡内设置清洁空气吹出口，作业人员从近前的作业用开口部将手伸进去进行操作。还提出了在具有这样的基本结构的基础上赋予各种功能的净化工作台。作为提出这些净化工作台的公开刊物例子，有JP2001-141273A、JP2005-48970A 及 JP2006-162174A。以往所知的净化工作台的作业用开口部多较为狭小，精密机械等的装配作业困难，在作业性方面有难点。此外，在装配作业等中，在由传输带等搬送制品、部件的同时进行制造的生产线中，净化工作台方式中必不可少的围挡就成为了障碍，因而无法将其纳入到生产线中。这种情况下，虽能采用将包括生产线在内的全部作业房屋进行净化的洁净室方式，但这样的方式中，因设备的规模大、装置大型化而导致的设置空间的确保、装置自身费用、施工费用等都高额化，这成为难点。而且，用于维持宽大空间的高清洁度的电费、交换过滤器的维持费等运行成本也非常巨大。作为除此之外的不污染制造部件等来进行制造的方法，有将制造部件等用隔壁围挡，通过与作业人员隔离而在隔壁内进行部分的污染控制的无尘车间方式等，能够制作高洁净区，其反面，难点在于需要将制造部件等与作业人员完全隔离，作业人员不能直接进行作业。本专利技术人等先前提出了局部空气清洁化装置(JP2008-275266A)，不对作业性优良的作业对象进行限制，作为可提供优良的洁净区的局部空气清洁化装置，将一对吹风罩(7° 'y V 二 7— F push hood)相互正对来配置来使得二股空气流相冲突。该装置中，在与一对正对的吹风罩的空气吹出面之间所形成的气流方向相平行的边界面全部处于开放状态，不使用隔壁、围挡等而形成清洁空气空间，由于没有围挡等成为作业的障碍，因而作业性优良。此外，还具有如下特征，即由于没有围挡，在伴随部件搬送的生产线中也可以使用。但是，这种装置中会有这样的难点由于需要将吹出开口面正对，在伴随部件搬送的生产线等中，有时会有作业人员自身不能进入形成的气流中而难以进行作业的情况，这种情况下，会有作业人员阻挡吹风罩的空气吹出面的状况，从而不能形成洁净区。此外的问题是，在装置的设置区域中如果存在柱子、制造设备等移动困难的障碍物的场所或者在狭窄的作业房屋等中不能将吹出开口面设置成正对的位置，即使能设置，也要占用不必要的空间。
技术实现思路
专利技术的目的本专利技术的目的是在活用先前提出的局部空气清洁化装置的优点的基础上，提供新的局部洁净区形成装置，该装置提高了应用可能性及实用性，而且作业性优良，对于作业对象没有限制，将装置的设置空间控制为节省空间，能够在廉价、容易地实现优良的洁净区。专利技术的概要本专利技术的第I专利技术是局部洁净区形成装置，具有如下的结构将用于形成等速空气流的整流机构内设在空气吹出面内而形成的一对吹风罩配置为相互的该空气吹出面之 间平行且该空气吹出面的中心之间不是正对关系，以使由该吹风罩吹出的等速空气流之间相对而冲突，同时，将该等速空气流在相对于该空气吹出面的斜向上以角度而吹出。本专利技术的第2专利技术是根据上述第I专利技术中所述的局部洁净区形成装置，其中，该整流机构由至少一个蜂窝形并列多孔体和至少一个空气阻挡体构成，该蜂窝形并列多孔体的多孔部在相对于该空气吹出面的斜向上以角度而排列。本专利技术的第3专利技术是根据上述第2专利技术中所述的局部洁净区形成装置，其中，该整流机构的蜂窝形并列多孔体的多孔部在相对于该空气吹出面的水平斜向上以角度而排列。本专利技术的第4专利技术是根据上述第3专利技术中所述的局部洁净区形成装置，其特征在于，在从顶面方向观察该吹风罩时，形成该吹风罩的外观形状的壳体(housing)的具有该空气吹出面的壳体面的与边界相接的2个侧面中的至少任一侧面，与相对于该空气吹出面在水平斜向吹出的等速空气流的角度平行。本专利技术的第5专利技术是根据上述第4专利技术中所述的局部洁净区形成装置，特征在于，在从顶面方向观察该吹风罩时，该吹风罩中，形成该吹风罩的外观形状的壳体的具有该空气吹出面的面与和边界相接的侧面所成的角度是钝角，且该侧面在相对于该空气吹出面的水平斜向上吹出的等速空气流的角度平行，在该吹风罩中，从形成该钝角的侧面的吹风罩内的空气吹出面直至与该空气吹出面相对的另一侧的背面侧壳体，且在从该空气吹出面的上端直至下端的纵方向上，内设遮蔽板。本专利技术的第6专利技术是根据上述第I 第5专利技术中所述的局部洁净区形成装置，其中，与在该一对吹风罩的空气吹出面之间所形成的洁净区的气流方向相平行的洁净区的边界面全部为开放状态。专利技术效果本专利技术的局部洁净区形成装置，相对于空气吹出面在斜向上以角度而吹出，一对吹风罩相互地使从空气吹出面被吹出的等速空气流彼此相对而冲突，在该一对吹风罩的空气吹出面间形成洁净区，由此在没有像净化工作台那样的围挡的情况下能够形成具有高清洁度的洁净区，由于没有作为作业的障碍的围挡从而洁净区中作业人员的作业性优良，对这样的作业对象没有限制。此外，由于本专利技术的局部洁净区形成装置没有围挡而能够在相对于空气吹出面斜向上以角度而吹出，即使在伴随制造部件等的搬送的生产线中，仅将该生产线的对象作业区域由一对吹风罩倾斜夹持而使等速空气流彼此冲突从而能够形成洁净区，不需要将生产线全体围挡起来或者对作业房屋全体进行净化这样的大型设备，能够容易地形成局部的洁净区。此外，由于装置的设置空间是节省空间的，装置自身费用、施工费用等都较低，仅对需要的局部空间进行净化，因此可以消减无谓的交换过滤器、电费等的维持费。而且，不会发生因作业人员的身体进入到形成洁净区的气流中而产生大的乱流，从而对洁净区的形成造成阻碍，由于仅手腕之前的部分进入到洁净区的气流中也能作业从而能够维持洁净区。此外，本专利技术的局部洁净区形成装置，即使在装置的设置区域存在柱子、制造设备等移动困难的障碍物的情况下，通过避开障碍物而使从一对吹风罩中吹出的等速空气流之间相互倾斜吹出来并相对，能够对应于障碍物、作业房屋的结构来形成洁净区。在至今为止不能设置的狭窄作业房屋中也能形成洁净区，将设置空间实质地控制为节省空间，能够有效利用作业区域。此外，以往的吹风罩，仅有相对于空气吹出面的垂直方向上吹出气流的吹风罩，本专利技术中，具有在相对于吹风罩的空气吹出面倾斜着以角度吹出的功能。由于本专利技术的装置 的使用者或者装置的设置者难以判断以怎样的角度吹出空气，将与具有空气吹出面的壳体面和边界相接的2个侧面中的至少一个侧面形成为相对于空气吹出面倾斜着具有角度且与吹出等速空气流的角度平行，这样，仅从吹风罩的外观看去，就能判明该装置是以怎样的角度吹出气流的装置。此外，本专利技术的局本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：藤代祐树，新田恒造，久保田裕仁，
申请(专利权)人：兴研株式会社，
类型：发明
国别省市：
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