【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及。
技术介绍
0LED (有机发光显示器)是一种新型的显示器件，具有很多优异的显示 性能，目前发展很快。典型的OLED器件结构如图1所示。玻璃基板上设置有 IT0 (氧化铟锡)阳极，ITO阳极表面镀制有机发光层，在有机发光层表面上 再镀制上低功函数的阴极。在阳极和阴极上施加电压，空穴载流子从阳极注 入发光层，电子从阴极注入发光层，空穴载流子和电子在发光层复合产生激 子，激子退激发时辐射出可见光。0LED显示器件发光层采用有机材料蒸镀的方法进行制作，如图2所示， 玻璃基板放置在金属荫罩上方，IT0阳极与金属荫罩相对贴合在一起，金属 荫罩是一张很薄的金属膜绷紧在金属框架上，金属膜厚度为数十微米，金属 框架和金属薄膜由温度膨胀系数与显示器件用的玻璃基板温度膨胀系数相近 的金属材料制成，金属框架一般为荫钢材料制成，金属薄膜可以采用镍或镍 铬合金，金属膜上有不开窗的部分和开窗的部分，开窗部分与基板上需要蒸 镀有机发光层的位置相对应，荫罩下方有坩埚，其中放置有发光材料，给坩 埚加热，有机发光材料即被蒸发，有机发光材料蒸汽透过荫罩上开窗部位最 终沉积在需要沉积...
【技术保护点】
一种有机发光显示器生产用金属荫罩的清洗方法，其特征在于，包括下述步骤： （１）采用常规方法，将金属荫罩浸入装有专用有机清洗溶剂的超声清洗槽内，经过超声清洗１０～３０分钟，当金属荫罩开窗部分附着的有机物膜层溶解和脱落后，取出金属荫罩； （２）将金属荫罩再浸入装有步骤（１）有机清洗溶剂的超声清洗槽内进行二次清洗，经超声清洗１０～３０分钟后取出，用清洁气流吹干金属荫罩表面的溶剂。 （３）将金属荫罩放入设有臭氧发生器的真空干燥设备内，抽真空至１ＫＰａ以下，充入干燥空 气或１０～５０ＫＰａ的氧气，利用臭氧发生器产生臭氧；或者将金属荫罩放入设有等离子发生...
【技术特征摘要】
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