【技术实现步骤摘要】
本专利技术特别涉及一种表面处理湿制程中硝酸的循环利用系统,其利用纳米过滤器、蒸馏器及电沉积器以循环利用待处理液中所包含的硝酸。
技术介绍
无论是液晶面板、半导体元件(比如集成电路)或印刷电路板(PCB),都需要不同的湿制程以进行特定图案的电镀处理、敷镀处理、蚀刻处理或清洗处理。因此,湿制程会产生大量包含各种酸液的废液,比如使用由醋酸、硝酸或氟酸所组成的混合酸液当作蚀刻液用。通常,废液中还包含不同的重金属,比如铜或镍,而这类的重金属对于环境具有潜在危险性,因此,需要进一步处理废液以降低或去除重金属,藉以符合环保法规的规定。在现有技术中,大部分一般的湿制程业者是将所有制程的废液集中后,交由专业 厂商利用相当复杂的硬设备以及操作技术而代为处理。然而,现有技术的缺点在于,委外处理废液不仅增加成本,且废液中的各种酸液是可回收利用,比如硝酸可当作溶剂或洗剂用,而废液中的重金属一般价格都相当高,不仅造成浪费而且无法进一步降低成本。因此,需要一种表面处理湿制程中硝酸的循环利用系统,利用收集储存槽、奈米级过滤器、蒸馏器、冷凝器以及电沉积器形成封闭循环路径,藉以循环利用硝酸,并分离硫酸及重金属,以解决现有技术的问题。
技术实现思路
本专利技术的主要目的在提供一种表面处理湿制程中硝酸的循环利用系统,包括收集储存槽、纳米级过滤器、蒸馏器、冷凝器以及电沉积器,用以分离表面处理湿制程中待处理液的硝酸、水、硫酸以及金属杂质,进而达到循环利用硝酸的目的。本专利技术的收集储存槽是用以收集表面处理湿制程中的待处理液,并形成待处理储存液而输出。纳米级过滤器具有纳米级过滤膜,用以过滤收集储存槽所输 ...
【技术保护点】
一种表面处理湿制程中硝酸的循环利用系统,是用以分离表面处理湿制程中待处理液所包含的水、硝酸、硫酸以及金属杂质,并实现硝酸的循环利用,其特征在于,所述的表面处理湿制程中硝酸的循环利用系统包括:一收集储存槽,用于收集该待处理液,并形成待处理储存液;一纳米级过滤器,是经一泵而接收该收集储存槽的待处理储存液,且该纳米级过滤器具有至少一纳米级过滤膜,用以过滤该待处理储存液,形成不含硝酸盐的过滤液以及含有硝酸盐的浓缩液,且该过滤液被回送至该收集储存槽;一蒸馏器,用于接收该浓缩液,经加热至一特定温度后,使该浓缩液中的硝酸及部分的水蒸发而形成硝酸混合蒸气,并留下由较高沸点的硫酸及金属杂质所组成的高沸点溶液;一冷凝器,用于接收硝酸混合蒸气,并使该硝酸混合蒸气冷却而凝结成硝酸溶液,同时硝酸溶液被回送至该收集储存槽;以及一电沉积器,用于接收该蒸馏器所产生的高沸点溶液,经电力使该高沸点溶液中的金属杂质还原成金属态而析出,同时残留的硫酸溶液被回送至该蒸馏器。
【技术特征摘要】
1.一种表面处理湿制程中硝酸的循环利用系统,是用以分离表面处理湿制程中待处理液所包含的水、硝酸、硫酸以及金属杂质,并实现硝酸的循环利用,其特征在于,所述的表面处理湿制程中硝酸的循环利用系统包括 一收集储存槽,用于收集该待处理液,并形成待处理储存液; 一纳米级过滤器,是经一泵而接收该收集储存槽的待处理储存液,且该纳米级过滤器具有至少一纳米级过滤膜,用以过滤该待处理储存液,形成不含硝酸盐的过滤液以及含有硝酸盐的浓缩液,且该过滤液被回送至该收集储存槽; 一蒸馏器,用于接收该浓缩液,经加热至一特定温度后,使该浓缩液中的硝酸及部分的水蒸发而形成硝酸混合蒸气,并留下由较高沸点的硫酸及金属杂质所组成的高沸点溶液; 一冷凝器,用于接收硝酸混合蒸气,并使该硝酸混合蒸气冷却而凝结成硝酸溶液,同时硝酸溶液被回送至该收集储存槽;以及 一电沉积器,用于接收该蒸馏器所产生的高沸点溶液,经电力使该高沸点溶液中的金属杂质还原成...
【专利技术属性】
技术研发人员:傅新民,上野山卫,许学晃,林诗诠,张芳淑,薛慕棨,
申请(专利权)人:华夏新资源有限公司,
类型:发明
国别省市:
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