【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种硅料清洗装置中的酸洗槽，包括用于放置液体和工件的槽体（１），其特征在于：所述的槽体（１）上口部设置有惰性气体的风刀（２），风刀（２）的宽度不小于槽体（１）的是上口部，槽体（１）的底部通过管道（３）和阀门（４）分别与酸溶液储液槽（５）、漂洗溶液储液槽（６）相连通。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：陈宏，
申请(专利权)人：张家港市超声电气有限公司，
类型：实用新型
国别省市：32[中国|江苏]
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