【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种基板清洗装置，其特征在于，包含将气体和药液混合后形成薄雾、将上述薄雾喷射到基板上的喷头；向上述喷头供给药液的药液供给部；向上述喷头供给气体的气体供给部；及与上述气体供给部相连接的使上述气体温度上升的加热部。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：李晟熙，李铉雨，
申请(专利权)人：株式会社细美事，
类型：发明
国别省市：KR[韩国]
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