质量评估设备、方法和使计算机执行质量评估方法的程序技术

根据一个实施例，一种质量评估设备包括：存储模块，所述存储模块存储指定信息，所述指定信息用于指定包括检查目标和非检查目标的评估目标中要进行抽样检查的所述检查目标，由所述检查目标的抽样检查获得的特征值以及基于所述特征值确定检查目标质量的准则信息；阈值计算器，利用所述准则信息从所述检查目标的特征值计算指示所述检查目标质量的阈值；以及分组模块，将所述评估目标分成组，使得所述组具有将所述阈值用作变量的概率分布。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术的实施例涉及一种质量评估设备、一种质量评估方法和一种用于使计算机执行该质量评估方法的程序。
技术介绍
在半导体制造中，通过中途检查步骤对形成于晶圆上的部件进行质量检查(例如 电特性检查等)。因为一般在晶圆上形成大量部件，所以难以基于所有部件的检查来掌握相应部件的准确质量。因此已知有一项技术，准备晶圆处理后时间数据(例如质量趋势)作为先验知识并基于该数据评估部件的质量。不过，例如，在质量呈现出超出先验知识的趋势时，就难以评估部件的质量。附图说明将基于如下附图来详细描述本专利技术的实施例，其中图I是根据第一实施例的质量评估设备的配置图；图2是根据第一实施例的质量评估设备的方框图；图3是用于解释组(cluster)的视图；图4是根据第一实施例的质量评估设备中检查模块和质量等级计算器的流程图；图5是用于解释部件ID的视图；图6是用于解释邻域区域的视图；图7是根据第一实施例的质量评估设备中分组模块的流程图；图8A到SC是用于解释根据第一实施例的质量评估设备中质量评估模块的视图；图9是根据第二实施例的质量评估设备的方框图；图10是用于解释根据第二实施例的质量评估设备中检查目标计算器操作的视图；图11是根据第三实施例的质量评估设备的方框图；图12A到12E是用于解释根据第三实施例的质量评估设备中检查目标计算器工作的视图。具体实施例方式一种质量评估设备包括存储模块，存储用于指定包括检查目标和非检查目标的评估目标中将要进行抽样检查的检查目标的指定信息，通过对检查目标进行抽样检查获得的特征值以及基于所述特征值确定检查目标质量的准则信息；阈值计算器，利用准则信息从检查目标的特征值计算表示检查目标质量的阈值；以及分组模块，将评估目标分成不同组并将评估目标分成组，使得在利用阈值作为变量的时候各组具有不同的概率分布。下文将描述本专利技术的实施例。(第一实施例)例如，在检查其上形成了诸如磁头等部件3的晶圆I的过程中，根据本实施例的质量评估设备对晶圆I上的一些部件3进行抽样检查(以下简称检查)，由此获得检查结果(例如，电特性，如电阻)。尽管为已经检查的部件3给出直接的质量等级，但向尚未检查的剩余部件3给出评估质量等级。在这种情况下，将所有部件3分类(进行分组)成组，每个组都具有以质量等级为变量的概率分布(以下简称等级概率分布)且在质量趋势上是不同的(质量等级的变化或组合)。向尚未检查且最后归入同一组的部件3赋予同样的质量等级。 顺便提到的是，术语“部件3的质量等级”表示用于表示根据电特性给出的质量的尺度。在这里假设提供四个质量等级高等级(A)、中等级(B)、低等级(C)和缺陷(F)来进行描述。图I是质量评估设备的配置图。根据本实施例的该质量评估设备具有检查模块10、CPU 200、存储器300和显示装置400。检查模块10进行部件3的质量检查。CPU 200执行下文将描述的算术处理。存储器300事先存储算术运算所需的信息并临时存储算术运算的结果。显示装置400显示算术运算的结果。将参考图2到8详细描述根据本实施例的质量评估设备。图2是方框图，用于解释质量评估设备中CPU 200的内部系统。图2中所示的质量评估设备具有检查模块10、质量等级计算器20、初始值计算器30、存储模块40、分组模块100和质量评估模块50。检查模块10具有取样器500和测试器600。取样器500从一个步骤中提取晶圆I并将晶圆I加载到测试器600中。测试器600检查部件3的一部分。质量等级计算器20基于检查模块10获得的检查结果计算被检查部件3的质量等级。初始值计算器30计算分组所需的初始值。存储模块40存储初始值。分组模块100执行所有部件3的分组。质量评估模块50评估部件3的最后质量等级。如有必要，质量评估设备还可以具有输出模块60，其输出由质量评估模块50评估的部件3最终质量等级的评估结果。顺便提到的是，如图2所示，CPU 200发挥质量等级计算器20、初始值计算器30、分组模块100和质量评估模块50的功能。存储器300发挥存储模块40的功能。显示装置400发挥输出模块60的功能。在这一实施例中，检查模块10检查被指定为抽样检查目标的部件3并获得检查结果。质量等级计算器20基于检查结果计算被检查部件3的质量等级。分组模块100基于预定概率统计模型使用被检查部件3的质量等级计算每组的等级概率分布的期望值。分组模块100基于等级概率分布的期望值更新将部件3归入每个组的概率并评估最后将部件3归入的组。图3示出了组的范例。这里示出形成这样的状态作为质量趋势,其中形成了三个组，亦即，质量等级A最高的组(高质量组I)、质量等级C最高的组(低质量组2)和质量等级F不低于预定值的组(常常是缺陷组3)。最后，质量评估模块50基于分组模块100将部件3分入的组给出部件3的质量等级。(检查模块和质量等级计算器)下文将参考图4中所示的流程图描述检查模块10和质量等级计算器20的操作。检查模块10从存储模块40接收部件位置数据(表I)和检查指定数据(表2)(SlOl)。事先在存储模块40中给出部件位置数据和检查指定数据。部件位置数据指出部件3在晶圆I上的位置。检查指定数据指定要检查的部件3。在这一实施例中，如图5所示，将一个晶圆I分隔成十个矩形块2。进一步将每个块2分隔成索引矩阵(例如图5中共108个索引)，每个索引表示形成的一个部件3。将部件的ID分配给部件3，以便唯一地标识部件3。每个部件3的部件ID包含用于标识部件3所属晶圆I的晶圆ID、用于标识部件3所属块2的块ID以及用于标识部件3所属索引的索引值(i，j)。如图5中所示，在这里将索引值(i，j)表达为以其左上索引为原点的ij坐标系中的坐标。例如，将晶圆ID为1，块ID为7且索引值为(8，3)的部件3的部件ID给出为1-7-8-3。如表I中所示，部件位置数据包含块ID、索引值(i，j)和表示索引值标识的索引位置的坐标(x，y)。如图5中所示，在将索引值(1，1)的索引上形成的部件3的左上部用作xy坐标系的原点的条件下，将坐标(x，y)表达为具有物理维度(这里假设为_)的xy坐标系中的坐标。例如，应该理解的是，在距晶圆I中块2的原点Ox轴方向16mm，y轴方向3mm的位置，形成部件ID给出为1-7-8-3的部件3，在晶圆ID给出为I的晶圆I中，块2的块ID被给出为7。(表 I)本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
2011.02.28 JP 042464/20111.一种质量评估设备，包括 存储模块，所述存储模块被配置成存储指定信息，所述指定信息用于指定包括检查目标和非检查目标的评估目标中要进行抽样检查的所述检查目标，由所述检查目标的所述抽样检查获得的特征值以及基于所述特征值确定所述检查目标的质量的准则信息； 阈值计算器，所述阈值计算器被配置成利用所述准则信息从所述检查目标的特征值计算指示所述检查目标的质量的阈值；以及 分组模块，所述分组模块被配置成将所述评估目标分成组，使得所述组具有将所述阈值用作变量的概率分布。2.根据权利要求I所述的设备，其中所述分组模块包括 被配置成更新与所述组相关的参数的更新模块； 第一概率计算器，所述第一概率计算器被配置成利用所述参数来计算第一概率，所述第一概率是每个评估目标属于所述组之一的概率； 第二概率计算器，所述第二概率计算器被配置成利用所述阈值来计算所述组的第一概率分布的期望值和第二概率，所述第二概率是所述评估目标邻域中存在的检查目标的阈值的第二概率分布与所述第一概率分布一致的概率；以及 第三概率计算器，所述第三概率计算器被配置成通过将所述期望值、所述第一概率和所述第二概率相乘或将所述期望值、所述第一概率和所述第二概率的对数相加，来计算第三概率，所述第三概率是所述评估目标属于所述组的概率。3.根据权利要求2所述的设备，其中 所述分组模块被配置成分别针对所述非检查目标来评估阈值；并且所述设备还包括阈值评估模块，所述阈值评估模块被配置成使用第三概率最高的组作为所述评估目标所属的所属组，并评估所述所属组的所述第一概率分布中概率最高的阈值作为所述评估目标的阈值。4.根据权利要求2所述的设备，还包括 被配置成计算要新增加的检查目标的检查目标计算器，其中 所述检查目标计算器被配置成测量所述组的阈值的概率之间的差异并且在判定所述阈值的概率之间没有差异时设置属于所述组的评估目标作为新的检查目标。5.根据权利要求3所述的设备，还包括 被配置成计算要新增加的检查目标的检查目标计算器，其中 所述检查目标计算器被配置成测量所述组的阈值的概率之间的差异并且在判定所述阈值的概率之间没有差异时设置属于所述组的评估目标作为检查目标。6.根据权利要求2所述的设备，还包括 被配置成计算要新增加的检查目标的检查目标计算器，其中 所述检查目标计算器被配置成比较所述评估目标的阈值与所述评估目标邻域中另一评估目标的阈值，并且在所述评估目标的阈值不和所述评估目标邻域中的另一评估目标的阈值一致时，将所述评估目标邻域中的所述另一评估目标设为新的检查目标。7.根据权利要求3所述的设备，还包括 被配置成计算要新增加的检查目标的检查目标计算器，其中 所述检查目标计算器被配置成比较所述评估目标的阈值与所述评估目标邻域中另一评估目标的阈值，并且在所述评估目标的阈值不...

【专利技术属性】
技术研发人员：植野研，新垣隆生，榊原静，
申请(专利权)人：株式会社东芝，
类型：发明
国别省市：