石英坩埚的热风烘箱制造技术

技术编号:7814619 阅读:160 留言:0更新日期:2012-09-28 03:10
石英坩埚的热风烘箱,涉及一种热风烘箱,包括箱体(2)、箱门(7)、架体(5)和石英板(4),在箱体(2)的腔体(1)开口处设有箱门(7),所述箱体(2)的腔体(1)下部设有架体(5),在架体(5)上间隔设有多块石英板(4);本实用新型专利技术通过在架体的石英板上放置石英坩埚,使得石英坩埚与腔体底部出现间距,热风可以同步加热石英坩埚的任何部位,节约用电达到20%以上。(*该技术在2021年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

石英坩埚的热风烘箱
本技术涉及ー种热风烘箱,尤其是涉及ー种石英坩埚的热风烘箱。背景技木在现有的石英坩埚生产エ艺中,大多需要根据客户需求对石英坩埚的内表面进行添加钡涂层,以便提高石英坩埚的质量和成品率,在拉制单晶硅时通过钡涂层隔离单晶硅与石英坩埚内表面的腐蚀,避免坩埚自表面发生析晶和渗漏,防止拉制单晶硅时的断苞和位错,提高拉制单晶硅的质量和合格率坩埚进行涂层前需要达到较高的温度,传统的烘干烘箱都是开间式,整体升温,产品在烘箱内部紧密码放,加热时间长,耗电量大,升温慢。
技术实现思路
为了克服
技术介绍
中的不足,本技术公开了ー种石英坩埚的热风烘箱,本技术通过在架体的石英板上放置石英坩埚,使得石英坩埚与腔体底部出现间距,热风可以同步加热石英坩埚的任何部位,节约用电达到20%以上。实现本技术的技术方案如下ー种石英坩埚的热风烘箱,包括箱体、箱门、架体和石英板,在箱体的腔体开ロ处设有箱门,所述箱体的腔体下部设有架体,在架体上间隔设有多块石英板。所述的石英坩埚的热风烘箱,所述架体包括上部网状板、竖支撑和横支撑,在上部网状板下部面上设有多根竖支撑,竖支撑的下端与横支撑连接。所述的石英坩埚的热风烘箱,上部网状板为长方形结构。通过上述公开内容,本技术的有益效果是本技术所述的石英坩埚的热风烘箱,在现有的热风烘箱腔体内加装架体,并且在架体上放置石英板,通过在架体的石英板上放置石英坩埚,使得石英坩埚与腔体底部出现间距,热风可以同步加热石英坩埚的任何部位,加热速度大幅度提升,通过本技术改动后处理相同产品数量,节约用电达到20%以上,间接为公司降低生产成本,増加企业效益。附图说明图I是本技术的立体结构示意图;图中1、腔体;2、箱体;3、竖支撑;4、石英板;5、架体;6、横支撑;7、箱门。具体实施方式结合实施例对本技术进行进一步的说明;下面的实施例并不是对于本技术的限定,而是仅作为支持实现本技术的方式,在本技术所公开的技术框架内的任意等同结构替换,均为本技术的保护范围;结合附图I所述的石英坩埚的热风烘箱,包括箱体2、箱门7、架体5和石英板4,在箱体2的腔体I开ロ处设有箱门7,所述箱体2的腔体I下部设有架体5,在架体5上间隔设有多块石英板4 ;所述架体5包括上部网状板、竖支撑3和横支撑6,上部网状板为长方形结构,在上部网状板下部面上设有多根竖支撑3,竖支撑3的下端与横支撑6连接。实施本技术所述的石英坩埚的热风烘箱,在现有的热风烘箱腔体I内设置架体5,由架体5形成与腔体I底部的间隔,在架体5上放置石英板4,将石英坩埚放在架体5的石英板4上,开始热风烘烤石英坩埚,由于本技术的石英坩埚加热中与腔体底部留有间距,热风可以同步加热石英坩埚的任何部位,加热速度大幅度提升,通过本技术改 动后处理相同产品数量,节约用电达到20%以上。本技术未详述部分为现有技木。本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.ー种石英坩埚的热风烘箱,包括箱体(2)、箱门(7)、架体(5)和石英板(4),在箱体(2)的腔体⑴开ロ处设有箱门(7),其特征是所述箱体⑵的腔体⑴下部设有架体(5),在架体(5)上间隔设有多块石英板(4)。2.根据权利要求I所述的石...

【专利技术属性】
技术研发人员:沈福茂
申请(专利权)人:乐山市泽尔汇科技有限公司
类型:实用新型
国别省市:

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