超声换能器阵列制造技术

一种超声换能器元件（１０４，３１３），包括：具有第一侧面和第二侧面的有源层（２０１）；连接到第一侧面的第一电极（２０４，３１７）和连接到第一侧面的第二电极（２０５，３１９）；和具有连接到第一电极的第一输出（３１６）和连接到第二电极的第二输出（３１８）的电路（３１５），其中第一输出给第一电极提供第一电压，第二输出给第二电极提供第二电压，并且电路给有源层提供大约等于第一电压和第二电压之差的电压。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】超声换能器阵列超声波(超声)换能器(transducer,变换器)是一种将电信号转换成超声 信号或者将超声信号转换成电信号的装置。超声换能器已经广泛应用于非侵入 地探查固体、液体和气体。超声换能器被广泛应用的一种应用是医疗成像。医疗成像中使用的很多超 声换能器都是压电装置。例如元件可以由锆钛酸铅(PZT)制成并组成阵列，这 些阵歹U形成换能器部件。换能器部件可以包括换能器元件的一维阵列或者换能 器元件的二维阵列。前者能提供被探查样本的二维图像，而后者能提供样本的 三维图像。超声探头(ultrasonic probe)包括在外壳中提供的换能器部件，该外壳可以 包括控制电子器件和阻抗匹配层。然后超声探头用于向人体内发射超声信号， 接收从人体反射的超声信号并将反射的超声信号转换成电信号。电信号然后可 以通过多个同轴电缆从探头发射到电子装置，该电子装置处理电信号并形成人 体被探查部分的二维图像或三维图像。一种在医疗成像中引起关注的换能器是压电微加工换能器(PMUT)。压电 微加工换能器使用已知的半导体制造技术以阵列的形式制成并且不需要阻抗匹 配层就能够提供成像能力。合成结构包括元件的阵列，W^本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种超声换能器元件（１０４，３１３），包括：　　　　具有第一侧面和第二侧面的有源层（２０１）；　　　　连接到第一侧面的第一电极（２０４，３１７）和连接到第一侧面的第二电极（２０５，３１９）；和　　　　具有连接到第一电极的第一输出（３１６）和连接到第二电极的第二输出（３１８）的电路（３１５），其中所述第一输出向所述第一电极提供第一电压，所述第二输出向所述第二电极提供第二电压，并且所述电路向所述有源层提供大约等于第一电压和第二电压之差的电压。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：J弗拉瑟，B杜福特，
申请(专利权)人：皇家飞利浦电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：NL[荷兰]